750,静态显示测定器,HUGLE藤宫半导体机器
750,静态显示测定器,HUGLE藤宫半导体机器
说明:
在液晶面板和半导体制造工程中
在静电对策中,*各种除电装置
MD750是一台制造工程中的五个地方的静电监视和管理。
介绍:
根据测量范围的切换,测量范围可以测量到±50kV
本装置可以连接5个景点传感器,同时也可以监视5个地方的静电测量产品的带电状态
由于功能,在测量中检测超过设定值的异常电位的话,发出警报,同时
异常检测频道的LED显示红色点灯
从记录计用的模拟输出端子,各的测量值同时输出
可以通过连接的记录计记录和管理
点传感器是小型轻量的非接触型
规格:
入力電圧 |
AC 100 - 240 V 50 / 60 Hz |
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入力電流 |
0.24 A |
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測定範囲 |
LO レンジ |
± 0.01 kV ~ ± 5.00 kV |
HI レンジ |
± 0.1 kV ~ ± 50.0 kV |
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測定精度 |
LO レンジ |
± 5 % (± 2 デジット) |
HI レンジ |
± 5 % (± 2 デジット) |
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測定電位表示 |
LO レンジ |
0.01 kV 単位 |
HI レンジ |
0.1 kV 単位 |
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警報電位設定 |
LO レンジ |
0.01 kV 単位 |
HI レンジ |
0.1 kV 単位 |
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外部出力 |
アナログ出力±10 mV ~ ± 5000 mV |
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センサーケーブル長 |
1m+中継ケーブル4 m 計5m(標準) ※特注で10mまで可能 |
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使用周囲温度 |
10 ~ 40 ℃ |
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使用周囲湿度 |
35 ~ 65 % RH (結露なきこと) |
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外形寸法 |
本体 |
216 (W) ×93(H) ×240 (D) mm |
センサー |
14.5 (W) ×16.5 (H) ×80 (L) mm |
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重量 |
本体: 1.8 Kg / センサー: 120g |