名称：Tousimis B系列临界点干燥仪
型号：Automegasamdri®-915B Series B
产品编号：8785C
样品室尺寸：6.5“（内径）×1.25“（深）
样品室容积：679 ml
样品室内环：6“, 4“, 3“, 2“, 1.25“
HF相容晶元架：6“, 4“, 3“, 2“, 10mm
设备尺寸：36.2 x 29.8 x 63.5 cm
Tousimis B系列临界点干燥仪 产品特点：
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专为MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制备而设计的台式全自动临界点干燥仪，防静电 无尘室适用
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标配不同尺寸晶圆架，每次可 处理5个晶圆样品
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标配样品室内环套装，适配不同的样品尺寸，减少LCO2消耗，提高干燥效率
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高效绝热冷却系统，可快速降温并在充液、吹扫时自动保温
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SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO2，消除静电及吹扫噪音
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内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性
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外置0.5μm的LCO2过滤装置，去除水、油和颗粒物
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内置吹扫后过滤器，可过滤LCO2内0.4μm以上杂质
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每个操作模式均有LED显示，一目了然
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样品室设有照明灯及观察窗，便于观察样品状态
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带刻度的微型计量阀门控制LCO2流量
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微处理器控制，可全自动操作
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操作参数可重复设定，确保结果可重复性
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所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准
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Tousimis B系列临界点干燥仪 标配附件 ：
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柔性高压LCO2进液管线，3.0 m（无尘室）
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防静电排空管线
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外置SOTER冷凝器 （分离乙醇和CO2，消除静电及吹扫噪音）
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样品室内环（仅适用于915B与815B）可适配不同直径晶圆
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HF相容晶圆架（仅适用于915B与815B）与10mm方晶架，每个支架多可放置5片晶圆样品
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备用样品室密封环（3），样品室灯泡（2），保险丝（2）
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安装工具组
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用户说明书及数据表
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2年质保及终生免费技术支持
