| 氮分子激光器 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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PLASMA
公司是世界上的气体激光器生产商，其产品主要特点是高质量、长寿命。
氮分子激光器的发射带在
UV
波段，主要是
337.1nm
、
357.7 nm
、
315.9 nm
。
PLASMA
拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器，由于其*的性能（波长
337nm
、脉冲宽度小于
10ns
、平均功率
0.01-1W
），被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亚微米量级的元件。此外，还被用于多种感光材料的高效曝光光源。
性能参数：
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