FS4000微型气体流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。的封装技术使之可用于各类管径，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器。
FS4000系列气体 流量计 是采用微机电系统（ MEMS ）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）
FS4003 流量传感器，管道内径为 3mm ，成本低测量范围*到 5SLPM ；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008 流量传感器，管道内径为 8mm ，测量范围*到 50SLPM ；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
产品特点 :
- 专为管径 3mm 和 8mm 的气管中的低压气体流量测量而设计
- 支持多种连接方式，易于安装与使用
- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了 100:1 甚至更高
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
- 零点稳定度高
- 全量程高稳定性、高度和优良的重复性
- 低功耗、低压损
- 响应速度快
