产品简介:
GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪
是一款紧凑的大气离子表面处理喷射系统,主要由射频发生器、离子束头组成。喷射的离子束流能在较低的温度和没有真空条件的环境下活化和清理材料(如单晶片、光学元件、塑料等)表面杂质
,
且清理速度迅速
。
本机是
为获得高质量的外延薄膜或光学涂层
进行
预先表面处理的
合适的工具
选择
。
GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪
具有一个样品台,将样品固定在样品台上后可进行X、Y、Z三个方向上一定范围内的连续移动清洗,且清洗过程中离子束不会发生抖动,清理后的样品表面质量均匀。
产品名称
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GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪
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产品型号
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GSL-1100X-PJF-A
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主要特点
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1、高速清理物件表面,操作简单、安全。
2、无需真空和腔室环境。
3、小巧实用、成本低。
4、重量轻、结构紧凑。
5、已通过CE认证。
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技术参数
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1、电源:110/220V 50Hz/60Hz <1000W
2、输出频率:20KHz-23KHz
3、离子束头:圆头10mm-12mm,矩形头15mm-18mm
4、输入气压
:
0.275MPa
(
min)
5、工作气氛:空气、氮气、氩气、混合气体,但不要使用易燃易爆气体
6、等离子工作压力:0.048MPa-0.068MPa
7、工作环境:温度<42℃,湿度≤40%RH
8、工作台:自动控制三维工作台,X、Y轴电动调节,Z轴手动调节
9、真空吸盘:Ø100mm
10、X轴行程:200mm
11、Y轴行程:100mm
12、Z轴行程:50mm
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产品规格
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尺寸:600mm×
600mm
×1250mm;重量:55kg
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