光进电气工业 KOSHIN 超声波清洗器 MegaS sp
光进电气工业KOSHIN超声波清洗器 MegaS sp
MegaS sp兆声波喷嘴型 , MegaS BW淹没型 , MegaS tp 兆声换能器板 , Megas 9e 兆 声 波 雾 化发生器
产品介绍
MegaS sp兆声波喷嘴型 : 4kHz至 5MHz 的兆声 ( 超声波振动波 ) 与清洗液 - 起从喷嘴喷出进行清洗。
用途: 半导体晶圆清洗 、 微结构的清洁
特征
这是一种使用高频超声波振动(气泡 ) 的清洁系统。
通过受控的微小空化作用清洁和去除微小颗粒。
是喷嘴型。
MegaS BW淹没型 : 这是一种超声波清洗装置,使用400kHz至 5MHz 的超声波振动气泡清洗附着在半导体晶圆等上的细小污垢。
用途: 半导体晶园清洗 、 微电子雾件的清洗 、 微型雾件的清洁
特征
使用压电效应的超声波振动(气泡 ) 去除井清洁表面的细小角质层。
它是一种浸没在液体中的类型。
MegaS tp 兆声换能器板 : 这种类型附在清洗槽的底部或侧面。
用途: 半导体晶圆清洗 、 微电子雾件的清洗 、 微型雾件的清洁
特征
使用压电效应的超声波振动甚至可以清洁微小部件。
它是一种可以安装在水箱底部或侧面的类型。
Megas 9e 兆 声 波 雾 化发生器 : 这是一种在半导体制造过程中,在清洗液中产生高频和受控空化作用来清洗晶圆等表面的装置。
用途: 半导体晶园清洗 、 微电子雾件的清洗 、 微型雾件的清洁
特征
使用压电效应的超声波振动甚至可以清洁微小部件。