等离子体表面处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态，利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。
NE-PE13F等离子体表面处理仪产品参数：
| 型号 | NE-PE13F等离子体表面处理仪 |
| 等离子体发生器频率 | 13.56MHz |
| 腔体材质 | 316不锈钢 |
| 功率 | 0-300W可调 |
| 腔体容积 | 240(W)*280(D)*200(H)mm; 13.5L |
| 腔体有效处理面积 | 205（W）×205（D）mm |
| 绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 |
| 气路数量 | 配置2路工艺气路，可支持氧气，氩气，氮气，氢气等 |
| 控制系统 | 4.3寸触摸屏+PLC |
| 外形尺寸 | 600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H) |
等离子体表面处理仪产品特点：
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计，可调节托盘间距
•8K镜面不锈钢腔体，密封性
•13.56射频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果；
•直观的触摸屏，过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的浮子针阀流量控制器，气体控制
等离子体表面处理仪产品应用：
邦定板的清洁：改善打线效果
改善塑胶材料的胶接性能
改善生物活 性分子对细胞培养平台的选择性粘合
ITO 面板的清洁活化
光刻胶的去除
芯片封装：引线焊 盘的清洁、倒装芯片底部填充、改善封胶的粘合效果
除去表面有机和无机污染物。例如：陶瓷、金属引脚框架和有机衬底上的氧化铝等。
等离子体表面处理仪对材料表面改性，改变了材料表面的微观结构与材料表面化学成分，包括材料的表面化学成分、润湿性、表面微观结构等，达到使材料表面改性的目的。经过低温等离子体改性后的材料表面化学成分发生变化，在材料表面引入了新的化学元素与化学活性官能团；材料表面润湿性发生变化，亲水性或疏水性增加；材料表面微观形貌发生变化，通常材料表面粗糙度增加。
