Automegasamdri-936, Series C
产品特点：
- 新配置的专用“慢充”控制，给样品腔体提供理想的二氧化碳流体动力学，保护了大多数易脆样品；
- 外部配置了PURGE后的过滤装置，保护样品，容易更换和后期维护；
- 采用了的“Vortex Swirl”非机械搅拌，使PURGE而不至于破坏样品；
- 高效内部封闭冷却循环系统，可以快速冷却腔体温度，缩短操作时间；
- 内置SOTER冷凝器，分离废弃乙醇和废气，消除排气噪音；
- 的样品室填块，可以改变样品室直径，减少液态二氧化碳的消耗量和处理时间，并兼容不同尺寸晶圆的处理；
- 内部过滤系统，过滤流进样品室的液态二氧化碳，过滤颗粒尺寸达到0.08μm；
- 一次运行可以处理5片6英寸晶圆，改变样品室尺寸，每次运行也可以分别处理4英寸、3英寸、2英寸晶圆及10mm方晶；
- 标配特氟龙兼容的6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圆样品架和10mm方晶样品架各1个；
- 垂直样品室，内腔有照明，样品室盖子带观察窗；
- 明亮的LCD触屏控制；
- 内置出厂自动运行程序并可创建和保存个性化程序；
- 所有内部表面适用于CO2，丙酮和超纯乙醇；
- 可以重复设置的参数，确保结果的可重复性；
- 集成自动控温和静态压力控制模块，确保自动安全的运行；
- 洁净室和防静电兼容设计；
- 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；
产品规格：
- 外部尺寸：宽19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm)；
- 安装占地尺寸：宽27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm)；
- 样品室尺寸：内径6.5” × 深1.25”，样品室容积：679 ml;
- LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型计量阀门来控制；
- 120V/50-60HZ(可选其他电压)；
标准配件：
- 高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon） 3 米长；
- 双T型过滤装置，双重过滤微小颗粒，过滤装置可预 先与LCO2管连接，安装方便；
- 安装工具；
- 防静电排气管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气；
- 样品室O型圈3个，样品室LED照明灯1个，3A和8A保险丝各2个；
- 4个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括6、4、3、2和1.25英寸;
- 直径为6、4、3、2英寸晶圆样品架和边长为10 mm方晶样品架各1个,样品架HF兼容；
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用户手册；
