ST-1 系列 压力敏感 芯体是为我国九十年代的航天军事应用而开发的产品。溅射薄膜压力芯体其 利用离子束溅射薄膜技术结合*的微电子工艺技术制造而成 的不锈钢弹性膜片 。离子束溅射在电阻合金材料上， 在膜片上制作了 组成惠斯登电桥的合金薄膜应变 电阻 ， 膜片变形使电阻的几何尺寸和阻值发生改变 , 电桥输出相应电信号。 薄膜应变电阻与弹性体“融 ” 为一体 , 组成全金属型敏感元件 , 无任何粘贴剂和紧固件 , 可长期在- 20 0 ℃ ～ + 200 ℃ 工作温度下稳定工作 。
溅射薄膜压力芯体 具有准确度高，工作温度范围宽，温漂小，高稳定，高可靠，抗振动，抗冲击，抗辐射的工作特性。 溅射薄膜压力芯体因 使用微束脉冲亚弧焊和激光焊，具有防水、防潮功能，在各种恶劣的环境下能长期稳定的工作。
溅射薄膜压力芯体广泛应用于航空、航天、交通、水利、电力、工程机械、汽车制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、医疗设备、食品加工等多种自控和测量行业。
主要技术参数
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被测介质 |
气体 , 液体及蒸气 |
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压力类型 |
表压 、 绝压 、差压可选 |
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量程 |
0.5～300 MPa 间任意可选 |
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供电电源 |
3～ 15V DC （建议5V DC或10V DC） |
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输出灵敏度 |
1.5 ～ 2.0 m V /V 、 3.5 ～ 5.5 m V /V 可选 |
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综合精度 |
±0.1%FS 、 ±0.2%FS 、 ±0.5%FS |
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非线性 |
0.02～0.05%FS之间 |
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迟滞 |
0.02～0.05%FS之间 |
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重复性 |
0.02～0.05%FS之间 |
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零点温漂 |
±0.01%FS/ ℃ |
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灵敏度温漂 |
±0.0 15 %FS/ ℃ |
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输出阻抗 |
2.5 ～ 3.8 KΩ 、 3 ～ 7 KΩ |
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绝缘电阻 |
≥ 2 0 0 MΩ /100VDC |
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工作温度 |
- 196 ℃ ～+85 ℃ …125 ℃ …150 ℃ … 175℃ … 200 ℃ 可选 |
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过载能力 |
15 0%FS |
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频率响应 |
1200 Hz |
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电气连接 |
焊点 （镍） （用户自己焊接 或委托我们焊接好） |
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接液材料 |
膜片： 17-4PH |
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相对湿度 |
0 ～ 9 5 % RH |
量程 规格 ：
0.5MPa、0.7MPa、1MPa、2MPa、3.5MPa、5MPa、7MPa、10MPa、16MPa、25MPa、40MPa、70MPa、100MPa、160MPa、2 0 0MPa、2 5 0MPa 可选择
尺寸规格：
