特点：
1.方晶和1”圆晶MEMS释放后的超临界点干燥仪；
2.通过微处理控制器来保证自动处理过程的进行及结果的可重复性；
3.电磁阀门以及密封适用于LCO2、乙醇及丙酮；
4.内表面适用于液态二氧化碳、高纯乙醇和丙酮；
5.可重复设定操作参数确保了结果的可重复性；
6.每次运行可以处理5×10mm的方晶或5×1”的圆晶，（提供可以兼容HF的样品架，方便处理样品）；
7.集成自动控温；
8.内置圆盘裂片保证安全；
9.每个操作模式LED显示，一目了然；
10.洁净室和防静电兼容设计；
11.的固态电子系统；
12.高效隔热冷却系统：在90秒内可以把样品室从室温冷却到操作所需温度；
13.静态压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性；
14.0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室；
15.内腔有照明灯，样品室盖子带观察窗，便于观察样品室内部状态；
16.微型计量阀门带游标卡尺，可实现重复设定及控制流速;
17.标配SOTERTM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳。
18.所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；
规格：
1.外部尺寸：宽14.0” (35.6 cm) × 高10.25” (26.0 cm) × 长21.5” (54.6cm)；
2.占地尺寸：宽36” (92 cm) × 深30” (76 cm)；
3.样品室尺寸：内径1.25” × 深1.25”; 样品室容积：25ml
4.温度范围：- 30 ℃ 至 60 ℃，压力范围：0 - 2000 psi；
5.Purge时间范围：0-45 min
6.120V/50-60HZ(可选其他电压)；
标准配件：
1.高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon） 3 米长；
2.外部LCO2过滤装置，去除水/油以及颗粒（小至0.5μm），过滤装置可预先与LCO2管连接，安装方便；
3.SOTERTM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳，降低排气噪音；
4.防静电排气管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气；
5.内部的不锈钢过滤系统和镀镍的过滤系统共同保护线路、晶片和阀门
6.流量计，可精确控制BLEED的排气速率；
7.样品室O型圈2个，样品室照明灯2个，5A保险丝2个；
8.HF兼容的10mm方晶PTFE插片架，每次操作最多能装载5个晶片
9.安装工具一套
10.用户手册；
11.所有部件一年质保。
