HORIBA Smart SE 智能型多功能椭偏仪
仪器介绍:
Smart SE智能型多功能椭偏仪是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。
多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。
技术参数:
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光谱范围:450-1000nm
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多种微光斑自动选择
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光斑可视技术,可观测任何样品表面
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CCD探测器
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自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向
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自动调节; Z轴高度>35mm
主要特点:
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一键式操作,直接报告输出
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液晶调制技术,测量光路中无运动部件
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CCD 探测系统,快速全谱输出
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多个微光斑尺寸选择,可视技术
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多角度测量
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可实现在线测量配置