产品特色
● 多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
● 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
● 耐用。21Q系列高压气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
应用及案例
● 大学/研究所 ● 环境监测
● 真空行业及镀膜 ● 工业炉窑
● 半 导 体 ● 汽车制造
● 光 伏 ● 燃料电池
● 计量校准 ● 过程工艺气体测量
精度升级
量程为10 SCCM - 3000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程（取值）
测量和控制范围 0.1 ~ 99%满量程
重复性 ± 0.1%满量程
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃温差
± 0.01%满量程/ Atm压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01%读 数/ ℃温差
± 0.1 %读 数/ Atm压力差
技术指标
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（）
测量和控制范围 0.5% ~ 99%满量程
显示流量 高达128%满量程（取决于气体）
可控流量 102.4%满量程
显 示 屏 带集成触摸板的单色LCD或彩色TFT显示器
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力和温度
精 度 ± 2%满量程 精度升级见上段
重 复 性 ± 2%满量程
零点漂移&满量程漂移 0.02% 满量程/ ℃/ Atm
响应时间 优于100 ms
预热时间 ＜1s
标定工况 25 ℃&1Atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温选项至100℃）
温度精度 ± 0.75℃
工作湿度 0 ~ 99%
工作压力 320 psia
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40Hz@19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10Hz
数字输入/输出信号 RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差
供电电压 12 - 30 VDC （15 - 30 VDC用于4 - 20 mA输出）
供电电流 0.250 A
电气接口 DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN、8-pin M12
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 303和302不锈钢、Viton®、热固化硅橡胶、玻璃增强聚苯硫醚、热固化环氧树脂、铝、金、黄铜、430FR 不锈钢、硅、玻璃。如果您申请需要其它材料，请联系我们。
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
*如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询
选项配件
（需另行订购）
● 过程端口接头和过滤器
● 电源
● 通讯线缆和转换线缆
● BB3和BB9多点式集线盒
● Flow Vision软件
包装清单
● MCQ系列高压气体质量流量控制器（电源需另行订购）
● NIST可溯源校准证书
● 艾里卡特操作说明书
尺寸压损
|
满量程质量流量控制器 |
满量程压损（PSID） 排气到大气中 |
机械尺寸1 |
过程连接2 |
|
10 SCCM ~ 50 SCCM |
1.0 |
4.4''H x 3.4''W x 1.1''D |
M-5 （10-32）（内螺纹） |
|
100 SCCM ~ 500 SCCM |
1.0 |
4.6''H x 3.6''W x 1.1''D |
1/8'' NPT 内螺纹 |
|
1 SLPM |
1.5 |
||
|
2 SLPM |
3.0 |
||
|
5 SLPM |
2.0 |
||
|
10 SLPM |
5.5 |
||
|
20 SLPM |
20.0 |
||
|
50 SLPM |
9.0 |
5.7''H x 7.7''W x 2.3''D |
1/4'' NPT 内螺纹 |
|
100 SLPM |
2.6 |
||
|
250 SLPM |
4.6 |
6.0''H x 7.7''W x 2.3''D |
1/2'' NPT 内螺纹 |
|
500 SLPM |
6.5 |
6.0''H x 7.3''W x 2.3''D |
3/4'' NPT 内螺纹 （A 1-1/4” NPT 内螺纹可选过程连接 可用于2000 slpm 流量计） |
|
1000 SLPM |
14.0 |
||
|
1500 SLPM |
17.0 |
||
|
2000 SLPM |
28.6 |
6.0''H x 8.1''W x 2.9''D |
|
|
3000 SLPM |
16.8 |
6.0''H x 8.9''W x 2.9''D |
1-1/4'' NPT 内螺纹 |
|
注1、公制数据见图纸； 2、与Swagelok®管、Parker®、表面密封、快接接头和卡套转接头相兼容，也可根据要求连接VCR和SAE。 3、与M-5 （10-32）外丁腈橡胶O形圈表面密封至1/8''NPT内螺纹接头一起装箱。 |
|||
产品大图
气体编码
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
