紫外臭氧清洗机原理:
通过紫外灯发出适当强度的 185nm和254nm波长高能紫外线破坏有物分子(污染物)。185nm波长紫外光的光能量能将空气中的氧气(O2)分解成臭氧(O3),而254nm波长的紫外光的光能量能将O3分解成O2和 原子 氧 (O), 254 nm紫外线同时激发表面的有机物分子,提高其敏感性,可以被臭氧分子团破坏。在连续进行的光敏氧化反应中,生成的活性 原子 氧 (O)与活化了的有机物(即碳氢化合物)分子发生氧化反应,生成挥发性气体(如CO2,CO, H2O,NO等)逸出 材料 表面,从而清除粘附在 材料 表面上的 碳和 有机污染物,达到清洗的目的。
应用 领域 :
u 石英 /玻璃制品的表面清洗:液晶面板 , 等离子电视屏幕 , 彩色过滤片 , 光罩 , 棱镜 , 透镜 , 反射镜 , 平板电视等。
u 微电子产品的表面清洗:微型马达轴 , 磁头驱动架 , 光盘 , 光电器件 , 手机摄像头 , 微型喇叭 /受话器震膜 , 半导体硅片 , 掩膜版。
u 精密集成电路的表面清洗:液晶显示器 ITO , 精密电路板 , 软性电路板接头 , BGA基板的清洗 , COG的清洗 , COF(ILB)接合面的清洗 , 薄膜基板的清洗 , 金属基板的清洗 , BGA基板与粘结垫的清洗。
u 在胶粘接或是印刷之前,对高分子聚合制品的表面改性:橡胶粘接,塑料汽车部件,透镜保护膜 , 塑料薄膜 , 树脂成型空气袋 , IC包装 , 注射 针 接合 部分 的表面性 , 介入导管的表面改型等。
u 科研过程的表面清洗及处理:半导体,生物芯片,纳米材料,聚合物,光化学等 。
产品特点
u 基础型 系列 采用可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制。 P 、 T系列采用 5 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面, 设置显示计时时间及加热温度。
u 自动补偿功能,自动恒定光强光密度,不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。
u 数字倒计时显示清洗时间, 1-999分钟之间可自行设置清洗时间 。
u 任何时间可以手动中断处理过程。
u 自动记录之前清洗参数设置。
u 样品台可控温(可选),控温范围 RT-2 0 0℃,控温精度0.1℃。
u 顶置下压式铰链开关盖方式,操作简单方便。
u 上置式样品台设计, 360度自由放置样品,操作方便。
u 样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,并可锁定。
u UV石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000小时。
u 高强度 UV灯源,波长185nm和254nm。
u 可累计计时 UV格栅灯 使用时长,更换提示。
u UV反射罩(长X宽)比UV格栅灯大25 m m。
u 双重安全保护, 带有 安全锁 , 当清洗腔打开时,系统 自动 关掉 UV灯,并有灯光通断提示。
u 带进 &出气口双气路设计。
u 可接入氧气或者臭氧,增加臭氧产量。
u 5(型号)可选外置臭氧中和器,9(型号)、1 3(型号) 系列可选外置或者内置臭氧中和器,用于臭氧清除。
u 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。
技术参数
产品型号 |
5/5P/5T |
9/9P/9T |
13 /1 3 P/1 3 T |
UV灯尺寸 |
130x130mm |
230x230mm |
330x330mm |
样品台高度 |
0-50mm可调 |
0-50mm可调 |
0-50mm可调 |
电 源 |
AC220V 50/60Hz 140/190/690W |
AC220V 50/60Hz 140/190/690W |
AC220V 50/60Hz 140/190/1160W |
外型尺寸 |
L260xW320xH200mm |
L370xW470xH200mm |
L465xW575xH200mm |
包装尺寸 |
L375xW470xH390mm |
L490xW600xH320mm |
L575xW680xH320mm |
整机重量 |
8kg |
15kg |
18kg |