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、计算机程序控制照明系统，使工件表面照明均匀，提高了测量的高精度和可靠性。
2 、多种 LED冷光源系统：可提供四相限环形顶光源、同轴光底光源。 3 、测量精度：高精度的 SONY彩色CCD摄像机、光学透镜及LED同步底光源的光路的同轴性都精确校准对。 4 、 Z轴精度：中心驱动Z轴，自动聚焦功能，为光学影像系统和RENISHAW接触式提供了精确的快速测量。 5 、工作台：采用花岗岩的机座，带平板玻璃可移动的高刚性、表面阳极化的双层十字特种金属工作台。 6 、导轨方式：采用进口的具有耐磨性的特种钢制成的高精度直线导轨，保证了轴向直线度和垂直度。 7 、驱动系统：采用高载荷的 4V无牙精密丝杠传动装置（技术）和DC伺服马达，确保了系统运动快捷、准确。 8 、 Z轴：采用平衡装置，提高了Z轴的定位精度及稳定性。 |
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规格
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测量范围（mm）
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外形尺寸（㎜）
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测量精度（ μm ）
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X
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Y
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Z
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X
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Y
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Z
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XY
：平面示值误差
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Z
：单轴示值误差
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CCS322
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300
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200
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200
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800
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500
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1650
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E1 ≤ 2.0+L/200
E2 ≤ 2.5+L/200
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E1 ≤ 2.0+L/150
（用接触式测头）
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CCSH322
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300
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200
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200
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800
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500
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1650
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E1 ≤ 1.5+L/250
E2 ≤ 2.0+L/200
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E1 ≤ 2.0+L/200
（用接触式测头）
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CCS543
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500
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400
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300
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1040
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1270
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1820
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E1 ≤ 2.5+L/200
E2 ≤ 3.0+L/200
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E1 ≤ 2.0+L/150
（用接触式测头）
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CCSH543
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500
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400
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300
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1040
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1270
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1820
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E1 ≤ 2.0+L/250
E2 ≤ 2.5+L/200
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E1 ≤ 1.5+L/200
（用接触式测头
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