SD-900型离子溅射仪是采用二级（DC）直流溅射原理设计而成的离子溅射镀膜设备。二极（DC）直流溅射是一种、可靠、经济的镀膜技术，是许多厂商提供的离子溅射仪的基础。
V技术规格说明
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样品仓尺寸 |
φ150mm h120mm |
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样品台 |
可放置1 2 个标准SEM样品座，高度可在 |
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上部电极 |
靶直径5 0 mm，厚度0 .1mm |
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溅射控制 |
电流5 0mA |
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溅射面积 |
φ5 0mm |
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真空度 |
≤4×10-2mbar |
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靶材 |
金靶、银靶、 铂靶 |
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溅射速率 |
优于5nm/min (金靶） |
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工作电压 |
220V, 50HZ |
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输出电压 |
-1600V |
