CEM3000系列中图仪器扫描电镜设备用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析。无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。在工业领域展现出广泛的应用价值，标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统，能满足用户对多类型样品的观测需求，实现微观的形貌和元素分析等。
CEM3000系列中图仪器扫描电镜设备采用钨灯丝电子枪，其电子枪发射电流大、稳定性好，以及对真空度要求不高，使得钨灯丝台式扫描电镜能够在较短的时间内达到稳定的工作状态并获得清晰的图像，从而提高了检测效率，节省了时间成本，特别适用于需要快速获取结果的应用场景，如工业生产中的质量控制、快速筛选样品等。
产品功能
1.高分辨率，满足用户观测需求；
2.快速抽放气，缩短等待时间；
3.高易用性
可快速成像，一键成片；
4.多种成像参数
满足专业用户的调节需求；
5.高抗振防磁性能
强抗干扰能力；
6.可选配低真空模式，保证用户能够根据需要设定电镜样品仓内真空度，进而对不同类型的样品进行观测。
7.大样品仓
SEM3000A在保证较小外形尺寸同时，具有比肩立式电镜的大仓室，从而容纳更大尺寸样品；
8.多探测器
可实现四分窗同时扫描成像。
应用场景
材料科学：纳米材料（如60nm银线）、高熵合金粉末、氧化锌等微观结构分析。
新能源：太阳能电池板缺陷检测、涂层性能评估。
生物医疗：微流控芯片表面形貌观测、药物载体研究。
工业质检：锡球颗粒焊接质量、精密器件表面粗糙度检测。
应用案例
金属材料分析
花粉微观形态
机型选择
CEM3000A（大样品仓型）：70mm×70mm样品仓，兼容大尺寸或多样品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：专为振动环境设计，抽气更快（低真空仅40秒），成像更稳定。
部分技术指标
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型号 |
CEM3000A （大样品仓型） |
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电子枪 |
灯丝 |
钨灯丝 |
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分辨率 |
优于 4nm(SE) ，优于 8nm(BSE) @20kV |
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加速电压 |
1 ~ 20kV |
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放大倍数 |
电子图： 40 ~ 200,000 × （可选配大图拼接） |
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探测器 |
二次电子 |
标配 |
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背散射电子 |
标配（四象限高分辨探头） |
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能谱仪 |
选配 |
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自动化软件 |
标配：自动合轴、自动聚焦、自动消像散、一键图像增强 |
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选配：颗粒度统计、孔隙率测量、纤维测量、三维粗糙度重建 |
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真空系统 |
真空度 |
高真空：优于 9 × 10 -3 Pa 低真空： 5 ~ 100 Pa （选配） |
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抽真空时间 |
低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min |
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样品台 |
自动轴 |
X ， Y ， T |
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手动轴 |
R ， Z |
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行程范围 |
X: 50mm |
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Y: 50mm |
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R: 0 ° ~360 ° （手动旋转、电子束旋转） |
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T: -22.5 ° ~ +22.5 ° |
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Z: 45mm |
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样品尺寸 |
70mm × 70mm （水平） 45mm （高度） |
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仓内相机 |
导航相机 |
标配高分辨彩色相机 |
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侧视相机 |
标配高分辨红外相机 |
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操作系统 图片尺寸 |
Windows10 (64bit) |
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640 × 480 |
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1280 × 960 |
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2560 × 1920 |
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5120 × 3840 |
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10240 × 7680 |
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