单晶硅纯水机 - 简介
硅是地球上储藏zui丰富的材料之一，单晶硅也称硅单晶，是电子信息材料中zui基础性材料，属半导体材料类。单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。为此，我们利用单晶硅的性质制造生产工艺用超纯水设备——。
单晶硅纯水机 - 工艺流程
● 预处理系统-反渗透系统-粗混床-精混床-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)
● 预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(新工艺)
● 预处理-一级反渗透-二级反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM) (新工艺)
● 预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥5MΩ.CM)(新工艺)
● 预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)
● 预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精密过滤器-用水对象 (≥5MΩ.CM)(传统工艺)[1]
单晶硅纯水机 - 水质标准
国家电子级纯水标准
- 设备要求
为达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量。在工艺设计上，取达到国家自来水标准的水为源水，再设有介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床系统(EDI电除盐系统)等。 系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，具有更高的性价比和设备可靠性。
- 设备超纯化后处理系统
①混床离子交换纯化柱
②EDI装置
③除热原超滤膜
④紫外线杀菌灯与TOC紫外消解器
⑤终端过滤器
- 产品型号
VGT-1T RO
单晶硅超纯水设备简介
单晶硅超纯水设备[2] 是运用*的膜分离技术，以及电子离子的EDI技术。反渗透技术中的RO膜是能拦截极细小的杂质，EDI是由膜块组成灵活方便效率高。设备整体自动化程度高可以无需人工操作，结构合理占地面积少。
单晶硅超纯水设备工作程序
单晶硅超纯水设备的工作程序主要包括四部分，分别是前处理系统、预处理系统、精致处理系统、后处理系统。原水通过前处理系统的水箱和水泵，到达3级过滤和软水器的预处理系统。到达精致处理系统双级反渗透和EDI结合，zui后到达微孔过滤器的后处理系统。
单晶硅超纯水设备特点
单晶硅超纯水设备整体采用技术*的零部件，质量安全可靠易于操作维护方便。设备自动化程度高可以自动关机，具有*的自我保护功能。采用的是*的膜保护系统，淡化水可自动将膜面污染物冲洗干净来延长膜的寿命。
