序号
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货物名称
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技术参数及要求
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是否进口
|
数量
|
所属行业
|
1
|
近红外激光精密操控系统平台
|
1
.
平台尺寸:约
1800*1200*800 mm,台面材料:约厚4-5 mm的高导磁430不锈钢面板和碳钢底板以及全钢侧板,厚度:约200mm,阻尼方式:宽带阻尼,精密型专业阻尼减振器,密封隔离杯:高强度聚合物成型,单独密封每个螺纹孔,密封孔类型:
约
19mm深度密封孔,防尘防水防小物件掉落到光学平台内部,蜂窝芯:钢制蜂窝芯,由高强度蜂窝型薄钢板垂直粘接后,相互组合而成,整个平台采用钢-钢粘接成型,提高热稳定性,平面度:优于0.1mm/m
2
,台面粗糙度:粗糙度优于
0.8µm,变形量:优于2µm/m
2
,固有频率:<
5~7
Hz
。
2
.
激光器及控制器单元:
1)中心波长: 1651nm,波长精度:+/-1nm,最大电流:225mA,温控电流:≤1A,温控电压:≤2V,输出功率:>15mW,封装类型:蝶形14针引脚封装,光纤类型:PMF,连接器类型 : FC/APC;控制器:最大输出电流:≥500mA电流源噪声:≤1.0µA,电流分辨率:≤10µA,电流精度:≤±0.1mA,热稳定性:
<
10 ppm/°C,输出功率:≥36W,温控稳定性:≤0.0005°C/°C,通讯接口:至少有GPIB,RS-232和以太网可选。
2)中心波长: 1600nm,波长精度:+/-1nm ,最大电流:225mA,温控电流:≤1A,温控电压:≤2V,输出功率:>20mW ,封装类型:蝶形14针引脚封装,光纤类型:PMF,连接器类型 : FC/APC。控制器:最大输出电流:≥500mA,电流源噪声:≤1.0µA,电流分辨率:≤10µA,电流精度:≤±0.1mA,热稳定性:<10 ppm/°C,输出功率:≥36W,温控稳定性:≤0.0005 °C/°C,通讯接口:至少有GPIB,RS-232和以太网可选
。
3
.
放大器:范围:
≥1mHz~500 kHz ,动态保留范围:≥120dB,电压输入范围:≥10 mV - 1 V,噪声:≤2.5 nV/√Hz @1 kHz,时基:≥10MHz,相位漂移:<0.002°/°C@<20kHz,时间常数:≥1 µs - 30ks,显示屏:全彩色640×480触摸屏显示,数据显示通道数:≥4个,计算机接口: GPIB,RS232,USB及以太网接口可选
4
.
波长测量单元:被测激光类型:连续或者准连续(重频>
10MHz),波长范围:MIR: 1.5
-
12 μm,精准度:±0.2 ppm,± 0.0002 nm @ 1000 nm,± 0.002 cm-1 @ 10,000 cm-1,± 60 MHz @ 300,000 GHz,重复精度: 0.1 ppm (1 pm @ 10 μm)
,
校准:
内置稳频
HeNe激光器,测试速率:2.5 Hz,预热时间:<15mins,最小输入功率:MIR: 120 - 925 μW
。
5
.
斩波器
1个:频率:0.01H
z
,切割范围:
1/2 to 1/15x,频率漂移:<20 ppm/'C,
输入
输出连接器:
BNC,显示器类型菜单控制:240×124 Pixel LCD,工作温度10
-
40°C
。
6
.
光纤光开关(含驱动器):
1*2开关,1550nm,双级,标准,尾纤SMF-28, 带900µm保护套管,长1米,FC/APC接头。开关频率2KHz,工作波长:1520-1580nm,插损:<1dB, 典型0.7dB,回损:典型55dB,开关速度:<10ps。
7
.
数据采集器:最大单端模拟输入通道数量
: 32,模拟输入分辨率: 16bits,最大采样率: 2MS/s,模拟输出通道数量: 4,最大更新速率: 2.86MS/s,总线连接器: USB 2.0,计数器/定时器数量: 4,双向数字通道数量: 48,模拟输入FIFO缓存大小: 2047 样本,同步采样: 否,模拟输入绝对精度: 1660 µV
。
8
.
信号发生单元
*2:1)频率160M
;
2)采样率:2.4 GSa/s,3) 脉冲频率:1μ~60MHz,占空比: 0.001 ~99.999可调,3) 垂直分辨率:16 bit, 4)三角波:1μ~5MHz,5)8 位高精度频率计,可测试 0.1Hz~400MHz 的频率范围,6)提供功能强大的波编辑功能,支持手动、直线、坐标、 方程式绘图等多种绘图方式,方便、快捷地生成波形
。
|
否
|
1套
|
工业
|
2
|
多通吸收池
|
1.基长:50cm
2.尺寸:约10cm*10cm*55cm
3.工作模式:双光路工作模式
4.有效光程:30m、70m
5.波长范围:400nm~9μm
6.出入光模式:单端输入输出
7.工作温度:-10℃~40℃
8.工作湿度:5~98%RH 无凝露
9.储存温度:-20℃~70℃
10.
材质:铝合金主体,玻璃腔体,不锈钢支架
11.
进出气接口
:1/4卡套接口
12.
体积:
2L。
|
否
|
1台
|
工业
|
3
|
太阳追踪仪
|
1.精度:跟踪精度优于0.01°
2.工作模式:图像精跟踪模式及静默粗跟踪模式结合
3.重量:<3kg
4.工作波长:近红外光纤接收太阳光工作波长范围(1.26~1.8μm)
5.软件:带控制软件
6.尺寸:约20cm*15cm*20cm
7.工作温度:-10℃~50℃
8.工作湿度:5~98%RH 无凝露
9.储存温度:-20℃~70℃
10.
材质:铝合金主体、三角支撑架
11.
供电电压:
12V DC
12.
转动角度:水平
360°,俯仰-90°~+45°
13.
电机控制步长:
0.001875°
14.
图像:图像、质心实时显示
|
否
|
1台
|
工业
|
4
|
小巧型匀胶机
|
1
.
转速范围:
100-9999 RPM,转速分辨率:1RPM
2
.
大单步步长
3000S,旋转时间分辨率1S
3
.
加速度可控范围:
100-9999RPM/S
4
.
可处理碎片
(小于1cm)至4英寸(100mm)圆晶底物
5
.
液晶文本显示,可提供中英文操作界面
6
.
快速运行和程控运行可选,多
5组5步的程控操作模式
7
.
100W直流无刷电机,宽电压适用:AC100-230V输入
8
.
标配三种直径规格真空载物盘
(直径10mm、25mm、2英寸)
9
.
铝合金着色氧化外壳,耐腐蚀开模内腔
|
否
|
1台
|
工业
|
5
|
通风橱
|
1.
结构组合:采用三段组合式柜体,上部柜体(通风柜),中间(操作台面),下部柜体(内含单侧独立抽气式组成柜及另侧独立水、电、管线系统容纳柜设计,尺寸:约
1200*850*1500mm
2
.
照明:采用
30W日光灯
3
.
工作面风速:
0.4~0.6m/s
4
.
电器配件:万用插座(
220V/10A)、日光灯、风机开停控制
|
否
|
1套
|
工业
|
6
|
1200℃微型开启式管式炉
|
1
.
采用双层壳体结构并带有风冷系统
2
.
炉膛材料采用高纯氧化铝纤维
3
.
可以作为模块,
DIY ALD CVD PVD 蒸发炉
、
回转炉等
4
.
炉膛表面涂有高温氧化铝涂层
5
.
最高温度
: 1200℃(≤30min)
6
.
连续工作温度
: 1100℃
7
.
推荐升温速率
:≤10℃/min
8
.
加热区:
200mm
9
.
热偶:
K 型热偶
10
.
加热元件:掺钼铁铬铝合金
11
.
电压:
220V, 额定功率:1.2KW
12
.
石英管口径:
Φ50 x 600mm
13
.
真空度:
10-2torr (采用机械泵)
14
.
安装有一机械压力表,测量范围为
-0.1~0.15MP
15
.
配有一对不锈钢密封法兰,采用硅胶密封圈密封
|
否
|
1台
|
工业
|
7
|
1200℃开启式管式炉
|
1
.
设有开门断电功能
2
.
采用双层壳体结构并带有风冷系统
3
.
炉膛材料采用高纯氧化铝纤维
4
.
炉膛表面涂有高温氧化铝涂层
5.
工作温度:
1200℃(<0.5 小时)连续工作温度:1100℃
6.
建议加热速率:
≤10℃/min
7.
加热区长度:
400mm
8.
加热元件:掺钼铁铬铝合金
9.
电压:
AC220V 50Hz
1
0.
功率:
3KW
1
1.
热电偶:
K型
1
2.
配有一对不锈钢密封法兰,采用硅胶密封圈密封
1
3.
石英管口径可选:
Φ50 x 1000mm 和 Φ80 x 1000mm各一个
|
否
|
2台
|
工业
|
8
|
等离子体清洗机
|
1
.
腔体材质:不锈钢表面处理
2
.
电源:
AC 220V
3
.
工作电流:整机工作电流不大于
5A(含真空泵)
工作功率:整机工作功率不大于
900W(含真空泵)
★4
.
电源功率:
50-600W 连续可调(全智能触屏操作界面)
(投标文件中提供
实物图片或产品彩页或截图或产品说明书扫描件)
5
.
频率:
40KHz
6
.
频率偏移量:<
0.2KHz
7
.
特性阻抗:
50 欧姆,自动匹配
8
.
腔内压力:
1kpa-100kpa
9
.
气体路数:高精密
4路浮子流量计,采用4路气体设计,可单独或混合2-4种气体清洗
10
.
气体流量:
10-100m
L
/min(可调)
11
.
过程控制:全自动控制与手动(
PLC人机界面)
12
.
清洗时间:
1-900
s
可调
13
.
清洗功率大小:
50W-600W
连续可调
14
.
内腔尺寸:约
ø150mm*270mm
15
.
外形尺寸:约
500mm*400mm*450mm
16
.
真空泵
:
抽速
4L/s
17
.
真空室温度小于
70℃
18.
冷却方式:强制风冷
|
否
|
1台
|
工业
|
9
|
全自动离子溅射仪
|
1
.
工作原理
:直流溅射
2
.
输入电压
:220V/50Hz
3
.
溅射电压
:2400V
4
.
溅射时间
:1-999s
5
.
最大功率
:500W
6
.
靶材尺寸
:Ø57*0.12mm(Au)
7
.
可选靶材
:金、铂、银、铜等常用金属靶材
8
.
真空泵
:直连式两级旋片式真空泵,抽速1.1L/s
9
.
真空室
:Ø130*130mm 高强度玻璃
10
.
极限真空
:≤1Pa(电阻式真空规)
11
.
抽气节拍
:<
90s
12
.
样品杯
:可放置Ø90样品1个
,
Ø25样品4个
,
Ø15样品6个
13
.
样品室进气
:自动
,
高精度微量进气阀
14
.
进气接头
:Ø4 快拧接头(外径 4mm,内径 2.5mm 气管)
15
.
工作电流
:2-30mA 任意可调
16
.
颗粒大小
:20-40nm
17
.
全智能触屏操作界面
|
否
|
1台
|
工业
|
10
|
四探针测试仪
|
1
.
卡盘台采用便捷的调节模式,
X/Y方向的行程是:4英寸*4英寸,高精度并带有自锁阻尼
2
.
XY轴移动丝杆需要有外壳保护装置,方便维护保养
3
.
双针座平台
4
.
卡盘角度可旋转微调,调节精度
0.01°
5
.
设备需带自适应减震结构有隔震底座可增强弹性支持
6
.
卡盘平整度:
±10µm
7
.
真空吸附方式:中心吸附孔
+外围多孔吸附
8
.
卡盘夹具皆有高漏电精度要求
9
.
显微镜清晰及高倍率放大要求
10
.
CCD分辨率达到1920*1080;帧率60fps
11
.
探针座磁力吸附,带磁力开关;
X-Y-Z 方向大滚轮方式,移动行程分别为14mm;移动分辨率0.6μ
m/
度
12
.
数字源表要求:
5英寸高分辨率电容触摸屏图形用户界面(GUI),电压量程: 20mV–200V,电流量程:10nA–1A,基本准确度:0.012%,分辨率:6½数位,宽带噪声:2mVrms(典型值),扫描类型:线性,对数,双线性,双对数,定制源存储器,读数缓存>250,000,>3000读数/秒,SCPI 和TSP 脚本编程模式,接口:GPIB,USB, 以太网(LXI)
13
.
上位机
1台:配 I-V 表征器应用软件
13.1永久浮动许可证;
13.2自动识别设备,可以迅速设置测试,获得被测器件的实际数据。通过立即绘制数据图,在读表中快速提供数据的统计汇总,查看数据;
13.3能够独立控制最多8台仪器,设置多台仪器测试;
13.4可以保存测试配置,迅速复现测试;
13.5内置示图和比较工具,可以迅速发现测量异常信号和趋势;
13.6可以以随时可用的格式导出数据,编制报告,进一步进行分析。
|
否
|
1套
|
工业
|
11
|
半导体
材
料电阻测试仪
|
1.
超大液晶人性化操作界面
,
多种测量参数可选
,
测量数据自动保持功能
,
超快测量并显示读数
,
量程有自动和手动双模式
,
档号显示及档计数功能
,
兼容多种材料测量
,
专业的通讯接口可以与
PC进行数据通讯及对仪器的远程控制
2.
显示器:高清
LCD 液晶显示
,尺寸
≥4.3英寸
3.
电阻率:
1µΩ・cm-2MΩ・cm
4.
方块电阻:
10µΩ/sq-2MΩ/sq
,
模拟电阻:
1µΩ-2MΩ
5.
精度:电阻率、方阻:
4%;模拟电阻:0.1%
6.
量程方式:自动,保持
7.
测量速度:快速
:10 次/秒,中速: 5次/秒,慢速: 2次/秒
|
否
|
1套
|
工业
|
12
|
示波器
|
1
.
模拟通道带宽:
100MHz;4通道
2
.
实时采样率:
2GSa/s
3
.
垂直分辨率:
12-bit
4
.
低本底噪声,全带宽下低至
70μVrms
5
.
波形捕获率最高达
500000帧 / 秒(Sequence 模式),120000帧 / 秒(正常模式)
6
.
支持
256级波形辉度及色温显示
7
.
存储深度最高达
200Mpts
8
.
数字触发智能触发:边沿、斜率、脉宽、窗口、欠幅、间隔、超时、码型、视频触发(支持
HDTV)、前提边沿、第 N 边沿、延迟、建立/保持时间
9
.
串行总线触发和解码,支持的协议包括标配的
I2C、 SPI、UART、CAN、LIN
10
.
分段采集(
Sequence)模式,最大可以将存储深度等分为80000段,根据采购人设置的触发条件,以非常小的死区时间分段捕获符合条件的事件历史模式(History),最大可记录80000帧波形
11
.
数十种自动测量功能,支持测量统计、
Gating 测量、Math 测量、History 测量、Ref 测量。支持对测量参数的直方图和趋势图统计
12.
4 路独立的波形运算,支持 2M 点 FFT 和 20 多种常用时域运算;支持自定义表达式实现复杂的嵌套运算
13.
多种高级数据分析和处理功能:搜索和导航、高速模板测试、波特图、电源分析(选件)、计数器等
14.
尺寸
≥
10.1 英寸电容式触摸显示屏,分辨率
≥
1024*600
15.
丰富的接口:
SBUS(Siglent 逻辑分析仪接口)、3个 USB Host、USB Device、LAN、Pass/Fail、 Trigger Out 等
16
.
支持外接鼠标和键盘操作;内建的
WebServer 支持 通过网页控制仪器;支持 NTP(网络时间协议)支持丰富的 SCPI 远程控制命令,多国语言显示及嵌入式在线帮助
★17
.
配备专业时域信号分析和示波器控制软件
(
投标文件中
提供
实物图片或产品彩页或截图或产品说明书扫描件
)
17.1 PC 端进行离线波形数据分析, 支持最大2路离线波形数据进行分析,支持分析单路离线波形数据量达2Mpts
17.2通过控制采集后,可在线读取远端的波形数据,然后执行本地数据分析,而不依赖于示波器本身的分析功能
17.3和示波器软件同平台,用户无需担心软件的后续维护,memory数量:2 ,memory点数:2M点/通道,Math数量:2,测量数量:5,在线控制,最大存储深度:2M点/通道,功能:解码,测量,数学运算,导航,模板测试,光标测量,分析门限,远端示波器管理。
|
否
|
1台
|
工业
|
13
|
近红外光场调控及精密测量系统
|
系统主要包含如下:
1)近红外空间光调制器 1台
1.液晶类型:反射式
2.调制类型:纯相位调制
3.像元大小:8μm
4.像素数:1920×1080
5.像面尺寸:0.69" (15.36mm×8.64mm)
6.开口率:87%
7.相位范围:≥2π(1064nm) 稳定度RMS≤0.13π 线性度R²≥0.99
8.刷新频率:60Hz ,响应时间≤30ms
9.数据接口:DVI/HDMI
10.损伤阈值:20W/cm²
11.软件可实时在线调节和控制各类光场参数;SDK 支持多种开发语言,包括 Labview、C/C++、C#、VB.net、python、Matlab,并提供完整Demon 程序
2)高稳定激光器 1台
1.波长(nm):1064±1
2.工作模式:CW
3.输出功率(mW):500-1000
4.功率稳定性(rms,超过4小时)<2%
5.横向模式TEM00
6.M2系数<1.2
7.光束发散,全角(mrad) <1.5
8.光束直径:1/e2(mm) ~1.5
9.距基板的梁高度(mm):24.8
3)三维位移台 2套
1.围绕系统光轴上的点旋转
2.两个M3x0.5安装孔,用于安装多轴位移台配件
3.差分测微头驱动器,用于手动调节
4.载物台高度112.5mm,兼容6轴位移台
5.水平、轴向和竖直平移
6.水平和光轴行程: 13mm的滚珠轴承运动
7.竖直行程: 6 mm的挠性运动
8.±5°的俯仰和偏转挠性运动
4)二维扫描振镜系统1套
1.双轴大光束扫描振镜系统
2.梁直径10mm(最大值)
3.输入/输出垂直光束偏移等14.7mm
4.重复性15µrad
5.线性度(50%全行程)99.9%
6.最大机械扫描角度±20.0°(w/0.5 V/deg缩放)
7.带宽(全行程)25 Hz方波35 Hz正弦波,带宽(50%全行程)65Hz方波130Hz正弦波
8.小角度(±0.2°)带宽1kHz,小角度阶跃响应400µs
9.模拟位置信号输入范围±10V
10.机械位置信号输入比例因数1.0V、0.8 V或0.5V/度
11.位置传感器输出40-80µA
12.电源:低噪声线性电源,可减小电干扰,能够同时为2个伺服驱动卡供电
5)平场半复消色差物镜 1个
平场萤石成像物镜,带校正环,
60倍,0.85NA,0.31-0.4mm工作距离
6)铟砷化镓相机1个
1.传感器类型:InGaAs
★2.光谱范围:400nm-1800nm
(投标文件中需提供
实物图片或产品彩页或截图或产品说明书扫描件
)
★3.像元尺寸:5.0μm x5.0μm
(投标文件中需提供
实物图片或产品彩页或截图或产品说明书扫描件
)
4.ADC: 12Bit/ 8Bit
5.帧率&分辨率:
8Bit:400fps@640x512、753fps@320 x256 12Bit:212fps@640 x512、400 fps @320 x256
6.硬件图像缓存: 512MByte
7.转换增益: 42.29e/ADU
8.动态范围: 59.7dB
9.读出噪声: 176.7e
10.满井电荷: 173.23ke
11.最大信噪比:52.39dB
12.灵敏度: 121mV
13.暗电流: 383e/s(0℃)510e/s(10℃)638 e /s(20℃)
14.增益范围: 1x-15x
15.曝光时间范围: 15μs-60sec
16.快门模式: 全局快门
17.Binning 模式: 软件 2x2,3x3,4x4
18.数据接口: USB3.0
19.数字 IO: 1路光耦隔离输入,1路光耦隔离输出,2路非隔离输入输出口
20.滤光片: 400-1800nm(标配)
21.CRA: 2.35度
22.软件: 完整的SDK开发包/ToupVicw
23.制冷温差: 低于室温25℃
|
否
|
1套
|
工业
|
14
|
▲散射光场波前整形及高分辨显微成像系统
|
一、平台要求
1.台面尺寸:约2400x1200x800mm,
2.主要材料:高导磁不锈钢,台面厚度: 200mm
3.内核结构:井字蜂窝焊接,工作台板厚度:6mm
4.安装孔:25mm 孔距 M6 螺纹孔,孔精度:±0.03mm,孔距精度:±0.05mm,沉孔精度:±0.05mm,孔垂直度:±1°,高度:800mm,平面度:0.05mm/1000mm,粗糙度:<0.6μm,
5.隔振方式:空气弹簧(标配超静音空气压缩机),固有频率:<2Hz,自平衡支撑。
二、单模绿光激光器
1台
1
.
波长(
nm)532±1
2
.
工作模式
CW
3
.
输出功率
>200 mW
4
.
功率稳定性(
rms,超过4小时)<1%
5
.
横向模式
TEM00
6
.
M2系数<1.1
7
.
孔径
1/e2处的光束直径(mm) ~1.5
8
.
光束发散,全角
(mrad) ~1.5
9
.
距基板的梁高度
(毫米)24.8mm
三、科研相机
2个
1
.
SCMOS小型科研级相机
2
.
2/3英寸制式,黑白sCMOS传感器,1920 x 1080像素(210万像素);16bit
3
.
高量子效率
(600 nm处约为61%)
4
.
曝光时间:
0.029 ms to 7767.2 ms in ~0.03 ms Increments
5
.
无风扇设计
,
减少暗电流,不会导致振动和图像模糊现象加剧
6
.
读出噪声中值小于
1 e-
7
.
触发和
B门曝光模式
8
.
卷帘快门,带等效曝光脉冲
(EEP)模式,用于同步光源
9
.
USB 3.0接口
10
.
支持正版操作系统
11
.
SDK和编程接口支持:C、C++、C#、Python和Visual Basic.NET API;LabVIEW、MATLAB和µManager第三方软件
12.
1/4"-20螺孔,用于接杆安装
四、显微物镜套件
2套
1.
复消色差物镜
,
倍率
100X
,
工作距离
6.0 mm
,
数值孔径
0.70
,
入瞳
2.8
mm
,
分辨率
0.5 µm
,
工作波长:可见
/近红外;
2
.
物镜架,
RMS(4/5”-36)标准物镜;角度调节螺纹副:M6×0.25;俯仰偏摆调节范围:±4°;
3
.
傅里叶变换透镜
:
Φ50.8;f300
五、可见波段空间光调制器1台
1
.
面板分辨率:
1920 x 1200(WUXGA)
2
.
工作波长:
400 – 850nm
3
.
像素单元:
8µm
4
.
填充因子:
>92%
5
.
高速帧率
/刷新率 60Hz
6
.
相位调节范围:
2π
7
.
典型调制范围
2π at 633nm
8
.
相位闪烁
(RMS)b<0.01%
9
.
支撑外触发
六、功率计套件
1套
含数字功率和能量表头,硅探头,
400nm - 1100nm,50nW – 50mW
,
激光防护镜1个OD5+@190-380nm;OD2+@400-532nm;可见光透过率:21%
七、电控精密三维位移台
1套
1.
2个20mm行程一维平移台+1个10mm行程垂直台+控制器+I/O线缆+控制手柄
2.
平移台参数:行程:
20mm,光栅尺传感器分辨率:2nm,最小步距:2nm,双向重复精度:±100nm,直线度/平面度:±2μm,俯仰/偏摆:±150urad,最大推拉力:5N,断电加持力:6N,空载最大速度:8mm/s,最大推力最大速度:5mm/s
,
任意方向最大负载:
0.5KG;台面尺寸约:45*45*14mm,自重:
约
75g
3.
升降台参数:行程:
10mm,光栅尺传感器分辨率:2nm,最小步距:2nm,双向重复精度:±100nm,直线度/平面度:±2μm,俯仰/偏摆:±150urad,最大推拉力:5N,断电加持力:6N,空载最大速度:8mm/s,最大推力最大速度:5mm/s
,
任意方向最大负载:
0.5kG,台面尺寸约:45*45*38mm,自重:
约
220g
4.
控制器和手柄:三维单独控制,含
3轴I/O线,长度
约
2m
八、消偏振分光棱镜
1个
已安装
42×42×40
mm
同轴立方体外壳
, 工作波长 450-650nm, 分光比 T/R:50/50 ± 5%±10%,吸收<15%
|
否
|
1套
|
工业
|
15
|
单光束光镊系统
|
基础版单光束光镊系统,用于捕获并操控粒子移动,通过
CMOS相机实时显示粒子运动情况
一、光源模块:激光模组,安装于三维调节架;
1
.
可见光
2
.
自由空间输出,输出准直度可调
3
.
输出光功率
>30mW
4
.
工作温度范围
10 ℃-30 ℃
5
.
功率稳定性
<3%
6
.
带电源适配器
二、向色镜
+物镜:
1
.
650 nm左右短波通二向色镜,安装于同轴立方中
2
.
物镜:
100x,油浸,NA1.25,RMS螺纹
三、
CMOS模块:
1
.
CMOS黑白相机
2
.
GigE接口
3
.
2592×1944,单像素大小2.2μm×2.2 μm
4
.
消色差透镜
+2片短通二向色滤光片
四、照明模块:
1
.
白光
LED
2
.
最大输出光功率
3W,带电源适配器
3
.
0-40 ℃
4
.
带准直和会聚元件
五、运动控制:
3轴侧驱位移台
1
.
台面尺寸:约
65×65 mm,
2
.
行程:
13mm
3
.
直线度(竖直、水平方向):
<3μm
4
.
移动平行度:
<15μm
5
.
微分头最小刻度:
10μm
6
.
带样品夹持架
六、样品制备工具:
4μm二氧化硅球、4μm聚苯乙烯微球、剪刀、镊子、载玻片、盖玻片、双面胶、吸管
七、
光路调试工具:用于光路高度
、
光路水平
、
光路准直调节
,
面包板及把手:面包板
300×450mm,双把手(含安装服务)
|
否
|
1套
|
工业
|
16
|
顶砧压机
|
1.
对称型
2.
外径
:
47.65mm
3.
高度
:
34.43mm
4.
开角
:
60°
5.
工作距离:
18mm
6.
温度范围
:
0-550℃
7.
垫块:圆孔,条孔
|
否
|
1套
|
工业
|
17
|
压砧
|
1.
台面直径:
300µm
2.
适合拉曼和
PL光谱测试
|
否
|
1台
|
工业
|
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