详细摘要: HMDS预处理真空烘箱一、HMDS预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺显得更...
产品型号:所在地:上海更新时间:2024-10-09 在线留言上海实贝仪器设备厂
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