紫外臭氧清洗机常用于扫描探测显微镜的样品应用，该设备能用于清洗原子力显微镜探针，扫描探针显微镜标准和表面上常规的油渍层和残留的无机材料，也能用来改变物体表面的疏水性，有助于部件和表面的化学改性，经过氧化和硬化处理的探针有利于在扫描过程中保持探针的几何形状，削尖的探针有利于提高侧向分辨率。臭氧清洗机设备已经用于纳米技术，化学，生物学，光学，电子学，半导体和其他范围内的科学实验室。
紫外光表面改质：低压紫外汞灯发射的185nm和254nm波长的紫外光除有清洗去除物体表面的有机污染物的功能外，而且还能够进行表面改质。其基本原理为：光子能量把物体的表层分子键打开的同时拉出H原子和C原子，与空气中的氧气分解出来的活性氧（O）生成极性很强的原子团（OH，CHO，COOH）即羟基等活性基，同时材料表面有机污染物的清洗，活化的基体表面具有良好的粘合力和键合特性，这些羟基和涂料、粘合剂、电镀材料相结合，形成新的化学键，从而使材料表面得到通常情况下得不到的很强的粘结强度，或者使料得到稳定的表面性能。
紫外臭氧清洗机安全注意事项：
设备使用人员应熟悉操作的所有方面，并应使用适当的安全防范措施。
1.暴露于高强度紫外线（UV）光的风险：设备会发出强烈的紫外光。不要把可能受到紫外线损坏的材料暴露光源下！
2.化学品暴露危险：设备产生臭氧，一种强烈的刺激性气体，可能会产生中毒。虽然臭氧的半衰期相对较短，但仍然应谨慎使用。有条件可以放在通风柜中使用。紫外灯管是汞灯，特别注意防止汞泄漏。
3.触电危险：设备的输出电压几千伏，是致命的。此外，电源包含电容，可能持有剩余电荷，仪器即使在断开电源下仍能暂时发光。当紫外灯灯损坏或破损时切勿使用仪器！请勿使用液体！请勿拆解，修改或尝试修复此设备！
4.火灾或爆炸的风险：切勿使用易燃液体，气体或材料！
