高精度气体流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电阻(铂RTD)，一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的。气体流速增加，介质带走的热量增多。使传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定，则必须增加通过传感器的工作电流，此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。
高精度气体流量计主要应用领域：
1、半导体制造行业的气体流量控制。
2、分析仪器设备的气体计量与控制。
3、各种形式的真空镀膜设备。
4、环境检测与分析设备。
5、化工、石化、食品行业气体流量监测和控制。
6、特种材料表面处理装置与燃烧控制。
7、混气配气系统和泄漏探测系统等。
高精度气体流量计特点：
1、采用主体不锈钢(316L)结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON®、聚四氟乙烯等。
2、适用于各种腐蚀性气体。
3、气体流量不因温度、压力的变化而失准。
4、高精度；重复性好 。
5、响应速度快、软启动、稳定可靠。
6、低压降。
7、工作压力范围宽(可以在高压或真空条件下工作)。
8、操作使用方便，可任意位置安装。
9、便于与计算机连接实现自动控制。
