S21 系列压电旋转台为一维 θz 旋转台,产品体积小巧,旋转角度可达 7.5mrad,承载能力达 0.1kg,可带载镜片等做精密旋转运动。S50.U0C/K 系列压电偏摆台S50.U0C/K 系列压电偏摆台,是一维 θx 偏转台,它是专为大负载应用而设计,如模拟空间扰动应用。
S50.U0C/K 系列压电偏摆台的负载方式是侧卧式,它的负载能力达7kg,100V 驱动电压下的偏转角度为 0.19mrad,对应的闭环阶跃时间为 17ms。S50.U0C/K-D1 系列压电偏摆台S50.U0C/K-D1 系列为一维 θx 轴偏摆的压电偏摆台,它的承载能力可达 60kg,偏转角度为 ±0.25mrad。它采用电容式闭环传感器,分辨率可达 10nrad,并可在 20kg 载荷下高频率工作。它非常适于大负载偏摆运动实验,如空间扰动模拟等。S50.UR0C/K 系列压电偏摆 / 旋转台S50.UR0C/K 系列为 θx、θz 轴偏摆 / 旋转台,承载能力可达 40kg,偏转角度 ±0.25mrad。可带载 20kg 负载高频率使用。产品主要应用于大负载偏摆 / 旋转运动实验,例如模拟空间扰动实验等。S50.UR0C/KA 系列压电偏摆台S50.UR0C/KA 系列压电偏摆台是专为大负载应用而设计,承载可达 5kg。它的闭环版本是采用电容式反馈传感器,空载谐振频率可达 1kHz。S51.ZT0S/K-B 系列压电偏摆台S51.ZT0S/K-B 系列压电偏摆台是一款定制型压电偏摆台,可产生 θx、θy 两轴偏转及 Z 向直线运动,中心具有大型通孔,适于透射光等应用。S51 系列压电偏摆 / 升降台S51 系列是具有中心通孔的三维 θxθy 及 Z 轴运动的压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大通孔使其易于集成在显微及扫描等光学系统中。S51.ZT2S/K-C1 系列压电偏摆台S51.ZT2S/K-C1 系列压电偏摆台是一款定制型压电偏摆台,可产生θx、θy两轴偏转及Z向直线运动,中心具有大型通孔,适用透射光等应用。S54.T0S/K-B 系列压电偏摆台S54.T0S/K-B 系列是客户定制版压电偏摆台,可实现 θx、θy 二维偏摆运动。整体采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高。结构紧凑,搭配大中心通孔设计,易于集成在显微及扫描等光学系统中。S54.T0S/K-C 系列压电偏摆台S54.T0S/K-C 系列压电偏摆台,可实现 θx、θy 二维偏摆运动。整体采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高。承载上限可达 8kg,适合大负载应用。中心通孔达 200mm×200mm,适用透射光等应用。S54.T2 系列压电偏摆台S54.T2 系列是具有中心通孔的二维 θxθy 轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm 中心通孔使其易于集成在显微及扫描等光学系统中。H60 系列六自由度并联机构H60 系列六自由度并联机构,是 θx、θy、θz、X、Y、Z 六轴运动工作台,通过六支压电促动器的并联协调伸缩实现空间内六个自由度的运动,台体结构紧凑,三种规格型号可供选择,闭环型号定位精度更高,适用于六自由度微操作、微电子精密加工、检测等应用。H61.XYZTR0 六轴压电偏摆台H61.XYZTR0 压电偏摆台可产生六轴的超精密运动,适用于静态六轴的直线纳米定位及角度纳弧度偏转,中心具有50mm×50mm 的通孔,适于透射光应用。XD500.T0S/K-B 压电偏摆台XD500.T0S/K-B 压电偏摆台为 θx、θy 二维偏转的压电偏摆台,它的承载能力达 10kg,是专为大负载偏转应用而设计。XD500.T4 系列压电偏摆台XD500.T4 压电偏摆台是二维偏摆的运动平台,它的承载能力可达 1kg,大型移动台面,适用于大型反射镜的安装及偏转调节。XD502 系列压电偏摆台
XD502.ZT2S/K-B 系列压电偏摆台是一款定制型压电偏摆台,可产生 θx、θy 两轴偏转及 Z 向直线运动。它的承载能力可达5kg,闭环重复定位精度可达 0.006%F.S.,适用于各种高精度应用领域。同时中心具有 55×55mm^2 的通孔,适用于透射光应用。
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