芯明天压电物镜定位器
P72系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有超高聚焦 稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。
芯明天压电物镜定位器 特性;
• 大行程110μm
• 大承载0.2kg
• 毫秒级响应时间
• 闭环重复定位精度高
• 开环/闭环可选
典型应用
• 三维成像 • 干涉/计量
• 表面结构分析 • 共焦显微
• 生物科技 • 半导体测试
体积小巧、易于集成、高动态、直线性好
压电物镜定位器体积小巧、结构紧凑，可实现 大行程110μm的位移。多种螺纹牙连接器可选，易于与其 他光学显微镜等集成。台体采用柔性铰链机构，无摩擦且具有*的分辨率。由于其空载谐振频率可达350Hz，且可带载200g负载 作高速精密运动，在光学扫描、共焦显微等领域得到广泛 的应用。可选择闭环版本，实现超高的定位精度。
螺纹适配器便于安装
P72物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在 预期位置 。 多种螺纹 牙 可 选 ， 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于与显 微镜集成安装。
P72压电物镜定位器技术参数：
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P72.Z100S P72.Z100K |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
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标称行程范围（0~120V） |
80 |
μm±20% |
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大行程范围（-20~150V) |
110 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
5/2.5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
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推/拉力 |
110/15 |
N |
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运动方向刚度 |
1.4 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
350 |
Hz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
10/3 |
ms±20% |
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闭环空载工作频率 |
10%行程 |
50 |
Hz±20% |
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行程 |
15 |
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大承载 |
0.2 |
kg |
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静电容量 |
3.6 |
μF±20% |
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材质 |
钢 |
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重量 |
150 |
g±5% |
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以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
