芯明天压电物镜定位器 P73.Z500系列压电物镜定位器为大行程压电物镜定位器，Z轴直线运动范围可达550μm，采用柔性铰链设计机构，无摩擦、运动直 线性好且闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计，可适配多种型号的显微镜，广泛应用于大范围显微成像、双光子显微镜等领域。
特性:
• 大行程550μm
• 大负载0.4kg
• 毫秒级响应时间
• 闭环重复定位精度高
• 聚焦稳定性好
典型应用
• 三维成像 • 干涉/计量 • 生物科技
• 表面结构分析 • 共焦显微 • 半导体测试
螺纹适配器便于安装
芯明天压电物镜定位器 P73物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在 预期位置 。 多种螺纹 牙 可 选 ， 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于与显 微镜集成安装。
大行程、响应速度快、分辨率高
P73压电物镜定位器是大行程、高速、压电陶瓷驱动的聚 焦显微扫描装置，产品体积小但可实现的位移高达550μm。
P73采用柔性铰链导向机构，无机械摩擦、无机械间隙、 纳米级分辨率，具有超高的定位精度及超快的响应速度。
该系列压电物镜定位器具有大刚度、谐振频率高等特 点，可以实现满行程20ms的阶跃时间，负载 150g后阶跃时 间小于30ms且重复度达满行程的0.05%F.S.。
P73压电物镜定位器可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡 等多种标准镜头。它也可以通过适配器与手动调节台相结合 使用。
技术参数：
|
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P73.Z500S P73.Z500K |
单位 |
|
运动自由度 |
Z |
||
|
标称行程范围（0~120V） |
400 |
μm±20% |
|
|
大行程范围（-20~150V) |
550 |
μm±20% |
|
|
传感器类型 |
SGS/- |
||
|
闭/开环分辨率 |
18/7 |
nm |
|
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
|
推/拉力 |
80/10 |
N |
|
|
运动方向刚度 |
0.2 |
N/μm±20% |
|
|
空载谐振频率 |
170 |
Hz±20% |
|
|
闭/开环空载阶跃时间 |
20/10 |
ms±20% |
|
|
闭环空载工作频率 |
10%行程 |
40 |
Hz±20% |
|
行程 |
10 |
||
|
大承载 |
0.4 |
kg |
|
|
静电容量 |
14 |
μF±20% |
|
|
材质 |
钢、铝 |
||
|
重量 |
450 |
g±5% |
|
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
