250/1600型复合质谱分子泵 技术参数表
250/1600型复合质谱分子泵技术参数表
型号 |
250/1600 |
|
抽气速率(l/s) |
1600L/S |
|
压缩比N2 |
>10 9 |
|
压缩比H2 |
>8×104 |
|
极限压强(Pa) |
<2×10-8 |
<1×10-7 |
高真空法兰 |
LF250 |
CF250 |
排气口法兰 |
KF50 |
|
启动加速时(min) |
<7min |
|
电机转速(n/min) |
24000n/min |
|
小不平衡(mg) |
15mg |
|
建议采用前级泵 |
机械泵15L/S |
|
充油量(ml) |
/ |
|
安装方式 |
垂直±5° |
|
冷却方式 |
水冷或风冷 |
|
冷却水温度 |
<20℃ |
|
环境使用温度(℃) |
风冷<32℃ 水冷<40℃ |
|
泵体烘烤温度(℃) |
<100℃ |
|
泵重量(kg) |
40kg |
|
外形尺寸(mm) |
Φ340×427 |
型号 |
250/1600 |
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抽气速率(l/s) |
1600L/S |
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压缩比N2 |
>10 9 |
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压缩比H2 |
>8×104 |
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极限压强(Pa) |
<2×10-8 |
<1×10-7 |
高真空法兰 |
LF250 |
CF250 |
排气口法兰 |
KF50 |
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启动加速时(min) |
<7min |
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电机转速(n/min) |
24000n/min |
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小不平衡(mg) |
15mg |
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建议采用前级泵 |
机械泵15L/S |
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充油量(ml) |
/ |
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安装方式 |
垂直±5° |
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冷却方式 |
水冷或风冷 |
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冷却水温度 |
<20℃ |
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环境使用温度(℃) |
风冷<32℃ 水冷<40℃ |
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泵体烘烤温度(℃) |
<100℃ |
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泵重量(kg) |
40kg |
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外形尺寸(mm) |
Φ340×427 |