200/1200型复合质谱分子泵-柱后衍生装置-仪表网

产地	国产	加工定制	是

200/1200型复合质谱分子泵光学玻璃镀膜工业；薄膜工艺；真空冶金；照明工业排气

200/1200型复合质谱分子泵-柱后衍生装置产品详情

200/1200型复合质谱分子泵 技术参数表

型号

200/1200

抽气速率（l/s）

1200L/S

压缩比N₂

>10 ⁹

压缩比H₂

>8×10⁴

极限压强(Pa)

<2×10^-8

<1×10^-7

高真空法兰

LF200

CF200

排气口法兰

KF40

启动加速时（min）

<5min

电机转速（n/min）

24000n/min

小不平衡（mg）

15mg

建议采用前级泵

机械泵8～15L/S

充油量（ml）

安装方式

垂直±5°

冷却方式

水冷或风冷

冷却水温度

<20℃

环境使用温度（℃）

风冷<32℃ 水冷<40℃

泵体烘烤温度（℃）

<100℃

泵重量（kg）

36kg

外形尺寸（mm）

Φ320×428

200/1200型复合质谱分子泵 技术参数表

型号	200/1200
抽气速率（l/s）	1200L/S
压缩比N₂	>10 ⁹
压缩比H₂	>8×10⁴
极限压强(Pa)	<2×10^-8	<1×10^-7
高真空法兰	LF200	CF200
排气口法兰	KF40
启动加速时（min）	<5min
电机转速（n/min）	24000n/min
小不平衡（mg）	15mg
建议采用前级泵	机械泵8～15L/S
充油量（ml）	/
安装方式	垂直±5°
冷却方式	水冷或风冷
冷却水温度	<20℃
环境使用温度（℃）	风冷<32℃ 水冷<40℃
泵体烘烤温度（℃）	<100℃
泵重量（kg）	36kg
外形尺寸（mm）	Φ320×428

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