VTC-16-D 小型三靶等离子溅射仪-仪表网

公司介绍主营产品

深圳市科晶智达科技有限公司2001年成立于深圳，是一家聚焦服务于高校、研究院所、企业研发部门的国家技术企业，长期致力于打造安全、高效、智能的实验研发一站式服务平台，为科学研究与产业孵化赋能。深圳科晶与美国MTI、合肥科晶、沈阳科晶同属MTI-科晶联盟，目前已经搭建辐射的服务网络，精心为科学家们的实验室提供交钥匙工程解决方案。深圳科晶创立初期主要为半导体、精密光学器件提供洁净存储和安全转移所使用的包装制品，产品包括各种塑料胶盒、膜盒、晶圆盒、海绵盒、花篮等。公司2008年开始进行材料相关研发设备和锂电池实验设备的开发，经过十多年的积累深圳科晶现已成为新能源和新材料基础研究、小试与中试、测试与评估的整体解决方案规划者和提供者，产品应用涵盖了石墨烯材料、*陶瓷、*纳米材料、锂离子电池、超级电容器、燃料电池、固态电池、钙钛矿太阳能电池、功能薄膜等方向。主要产品系列：按应用与工艺更新产品系列 ? 材料基础研究实验装备（包括混料、涂覆、镀膜、压制、烧结、切割、研磨、抛光、粉碎、制粉、造粒、熔炼等）； ? 电池研发实验制备装备（包括锂离子电池、固态电池、超级电容器、金属空气电池、钠离子电池、液流电池、太阳能电池等制备方案）； ? 电池安全测试装备（符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等国内标准等）； ? 锂离子电池中、小试生产制备全流程系统装备方案，交钥匙工程（包括扣式、柱状、软包、方形铝壳等各种全电池制备方案）； ? 燃料电池研发实验制备装备（包括固体氧化物、质子交换膜燃料电池等制备方案）； ? 钙钛矿太阳能电池研发实验制备； ? 功能薄膜研发实验设备（包括混料、涂布、辊压/复合、分切、复卷等）； ? 高通量材料基因组实验设备（包括配液、配粉、混合分散、压片、烧结、测试表征等）；公司设立了开放的研发实验室和设备体验中心。对于锂电池行业，可实现公斤级别材料制备及电池研发，能接受上门小批量材料验证、定向工艺研究及小量成品电池制备等研发工作。深圳科晶强大的研发团队支撑了丰富的产品链，针对现有产品具有*知识产权的发明和实用新型共40多项（包含PCT和国内发明），并参与行业多项标准制定且获得多个行业协会认可。本着“精诚合作、创新共赢”的宗旨，深圳科晶先后与清华大学、南开大学、上海交通大学、深圳大学、中航发航材院、溧阳天目湖研究院等十多个高校机构和企业签署产学研合作。与此同时，深圳科晶设立了对外服务的公共试验平台，承接科研人员参观交流与现场测试体验，配备行业的售前技术人员协助研究者充分了解相关工艺和设备，缩短调研考察与决策时间。该实验室平台也可以承接相关工艺试验服务和培训咨询服务，协助细分领域的科研工作者快速掌握产业工艺，从而专注前沿研发。材料科学是基础科学。纵观人类科技的发展历史，新型材料的发现和应用将带来巨大的产业机遇，而*的实验装备和仪器是为科研和应用保驾护航的重要保障。科晶团队将一如既往秉承“客户为本，技术为导，诚信为基，积极创新”的运营理念，竭力为科学研究和科技发展做出贡献。

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VTC-16-D是一款小型直流磁控等离子溅射镀膜仪，其靶头尺寸为2英寸，并且样品台的高度可以调节

VTC-16-D 小型三靶等离子溅射仪产品详情

VTC-16-D是一款小型直流磁控等离子溅射镀膜仪，其靶头尺寸为2英寸，并且样品台的高度可以调节。此款镀膜仪设计主要是制作一些金属薄膜。

性能指标和基本配置
特点	● 特别为SEM样品镀导电性薄膜设计 ● 体积小巧，操作简单，容易上手。 ● 拥有小型磁控靶头，可以镀金银铂等金属。
主要参数	● 输入电源：220V AC 50/60Hz ● 功率：200W ● 输出电压：500 VDC ● 溅射电流：0-50 mA可调 ● 溅射时间：0-120S可调
溅射腔体	● 采用石英腔体，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H ● 密封：采用不锈钢平法兰的O形密封圈
溅射头&样品台	● 溅射头可安装靶材直径为2英寸，厚度0.1 - 2.5mm ● 溅射时间1-120S可调 ● 仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台，其与溅射头之间距离可调。 ● 可选购加热型样品台，其加热温度为500℃ ● 安装有一可手动操作的溅射挡板，可进行预溅射。
真空系统	● 安装有KF25真空接口 ● 数字真空压力表（Pa） ● 此系统可通入气体运行 ● <1.0E-2 Torr （采用机械泵）（仅供参考，详情请点击） ● <1.0E-5 Torr（采用涡旋分子泵）（仅供参考，详情请点击） ● 可在本公司选购各种真空泵
进气	● 设备上配1/4英寸进气口，方便连接气瓶 ● 设备前面板上装有一气流调节旋钮，方便调节气流
靶材	● 靶材尺寸要求：Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度) ● 此设备标配为铜靶 ● 可在本公司选购各种靶材
各种靶材的参数（仅供参考）	对于溅射各种金属靶材，需要摸索的溅射参数，下表是本公司实验所设置的参数，欢迎您带料来科晶实验室摸索工艺（仅供参考，详情请点击）
	靶材种类	真空度（Pa）	溅射电流（mA）	时间（s）	溅射次数
	Au	31-33	28-30	100	1
	Ag	31	28	100	1
薄膜测厚仪（可选）	可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上
产品尺寸	L460 mm × W 330 mm × H 540 mm
净重	20 kg（不包括泵）
使用注意事项	● 有时为了达到理想的薄膜厚度，可能需要多次溅射镀膜 ● 在溅射镀膜前，确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净 ● 要达到薄膜与基底良好结合，请在溅射前清洁基材表面 ● 超声波清洗（详细参数点击下面图片）：（1）丙酮超声，（2）异丙醇超声-去除油脂，（3）吹氮气干燥，（4）真空烘箱除去水分。 ● 等离子清洗（详细参数点击下面图片）：可表面粗糙化，可激活表面化学键，可祛除额外的污染物。 ● 制造一个薄的缓冲层（5纳米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以应用于改善金属和合金的附着力。 ● 请使用>5N纯度氩气等离子体溅射 ● 溅射镀膜机可以放入Ar或N2气体手套箱中溅射 ● 由于能量低，该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al，Mg，Zn，Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节超声波清洗机等离子清洗机大功率磁控溅射仪蒸镀仪
警告	● 注意：产品内部安装有高压元件，禁止私自拆装，带电移动机体。 ● 气瓶上应安装减压阀（不包括），保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。 ● 溅射头连接到高电压。为了安全，操作者必须在关闭设备前装样和更换靶头。
认证	CE认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内点击查看售后服务承诺书。

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关键词：真空压力表真空泵测厚仪镀膜机手套箱

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