超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8600系列-仪表网

公司介绍主营产品

苏州纽铭科学仪器有限公司专业提供理化分析、材料分析、生命科学、生物制药、食品检测、环境检测、教学设备、农业科技、土壤水质、分析等科研教学领域的实验室设备、耗材的专业公司。纽铭生物科技始终致力于为客户传递实验室科技产品，推动国内实验室科技和检测技术的繁荣发展。纽铭提供的各类实验室仪器设备、试剂耗材等广泛受到业内机构的认可，与、复旦大学、交通大学、第二军医大学、华东理工大学、浙江大学等科研院校、政府机构和医药企业等保持着长期稳定的合作关系。苏州纽铭，不仅为您提供全套的实验室样品全处理方案，更为您提供无后顾之忧的一站式服务。优质的服务理念、安心的售后为您的实验室保驾护航。纽铭全体员工期待为您服务并携手共进，开创更为广阔的发展新空间。宗旨：向用户提供质量可靠的实验室产品是我们始终的目标，注重技术在产品及生产工艺中的应用，并提供的服务，在不懈地保持优质产品和优质服务的同时，我们也竭力地为用户寻求更有效、更经济的解决问题的途径，尽心聆听客户的意见，更加重视人与人之间的相互尊重，追求更实效的合作与客户一起开创新的领域，共铸事业辉煌。我们始终革故鼎新，紧紧着眼于未来，欢迎新老客户前来业务! 以合理的商品价位，快捷的物流递送、优质的人性化服务，以及强大的技术力量，赢得了广大的客户的支持与信赖真正实现了与客户的双赢信誉求合作-质量求发展。

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SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术，同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。

超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8600系列产品详情

随着快速数据采集和数据处理技术的发展，电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量，而且重视其采集过程的时代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术，同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。

* 设备照片包含选配项。

特点

超高分辨成像

日立的高亮度电子源可保证了即使在超低着陆电压下，也可获得超高分辨的图像。

0.8 kV电压条件下观察RHO型沸石的实例。左图为颗粒整体的形貌,右图为放大图像，颗粒表面细微的台阶结构清晰可见。低电压观察对于减少电子束损伤和获取表面形状信息较为有效。

样品提供：日本工业技术综合研究所上村佳大先生

高衬度的低加速电压背散射图像

3D NAND截面观察;
在低加速电压条件下，背散射电子信号能够明显的显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。

3D NAND截面观察（加速电压：1.5kV）

快速BSE图像：新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)^*

由于使用了新型的OCD探测器，即使扫描时间不到1秒，也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像.

5纳米制程SRAM的内部结构观察（加速电压：30kV，扫描时间<1秒）

的自动化功能^*

EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块，如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽，将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后，该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。

灵活的用户界面

原生支持双显示器，提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存，实现快速的多信号观测与采集。

1,2,4 或6通道信号可在同一个显示器上同时显示，可切换内容包括SEM各探测器以及样品室相机和导航相机。可以通过使用两个显示器来扩展工作空间，可定制的用户界面以提高工作效率。

规格

机型		SU8600 系列
电子光学系统	二次电子像分辨率	0.6 nm@15 kV
	二次电子像分辨率	0.7 nm@1 kV *
	放大倍率	20 to 2,000,000 x
	电子枪	冷场发射电子源，支持柔性闪烁功能，包含阳极烘烤系统。
	加速电压	0.5 to 30 kV
	着陆电压 *	0.01 to 20 kV
探测器	（部分为选配项）	上探测器(UD)
		UD ExB能量过滤器，包含SE/BSE信号混合功能
		下探测器(LD)
		顶探测器(TD)
		TD能量过滤器
		镜筒内背散射电子探测器(IMD)
		半导体式背散射电子探测器 (PD-BSED)
		新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD)
		阴极荧光探测器(CLD)
		扫描透射探测器(STEM Detector)
附件	（部分为选配项）	导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD)
软件	（部分为选配项）	EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素）
样品台	马达驱动轴	5轴马达驱动（X/Y/R/Z/T）
	马达驱动轴	X：0~110 mm
		Y：0~110 mm
		Z：1.5~40 mm
		T：-5~70^°
		R：360^°
样品室	样品尺寸	直径：150 mm

* 减速模式下

关键词：电子显微镜显示器过滤器

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