Film Sense 新一代 多波长椭偏仪系统现已问世 。Film Sense FS-1EX和 FS-1UV 椭偏仪测量薄膜 的功能更强 ，波长 更长 ，光谱范围 也更广 。新 一代 椭偏仪系统 既拥有 * FS-1技术的相同 特点 ( 经久耐用的 LED光源，快速可靠 且 无移动部件 的 探测器，紧凑的设计 以及 浏览器软件界面)，同时 具备 易用性和可 购 性。
产品特点及规格
FS-1EX
TM
椭偏仪
l
6
条波长，光谱范围
405–950 nm
l
微型光学器件
：
光源137 x 80 x 60 mm
，
探测器110 x 80 x 60mm
l
与FS-1相比强度增加4倍
以上
l
2
条
较长波长(850和950 nm)可以测量更厚的透明薄膜(
厚度可达
5μm)
以及吸收性薄膜（如多晶硅、SiGe、非晶硅等）
l
2
条
较长波长
也提高了对
薄膜电阻率
的
测量
l
6
条
波长和更宽的光谱范围
强化了
测量多层膜堆的能力
FS-1UV
TM
椭偏仪
l
6
条波长，光谱范围
280–660 nm
l
微型光学器件
：
光源137 x 80 x 60 mm
，
探测器110 x 80 x 60mm
l
紫外波长(280 nm和305 nm)
超过
大多数半导体的间接带隙，
可
增强
合成物
的敏感度
l 紫外波长也可以 加强 透明基片和薄膜 的 折射率对比
FS-1
TM
(Gen. 2)椭偏仪
l
4
条
波长，
不同于
FS-1
的4条波长
l
微型光学器件
：
光源和探测器110 x 80 x 60mm
l
略宽的光谱范围
(450–660 nm)
l
与
FS-1
相比强度增加4倍以上
l
精度提高
2
倍
l
更容易内部校准
l 测量0 - 2μm厚度范围内单层透明薄膜 的 ，精度可达0.001 nm
自动
映射系统
FS-1EX多波长椭偏仪与
小型自动
映射系统
组装
，
可
快速、准确
地
测量晶圆薄膜厚度均匀性。
l
6条波长的
椭圆偏振测量
数据（
405
，
450
，
525
，
660
，
850
，
950 nm
），带经久耐用的LED光源以及无移动部件的探测器
l
大多数透明薄膜厚度
地精确
测量
：
0 - 5μm
l
典型薄膜厚度重复性
：
0.015 nm
l
集成聚焦探头，标准光斑尺寸
：
0.8 x 1.9 mm(其他光斑尺寸可供选择)
l
可使
样品自动校准
的
电动z型台
l
灵活的
扫描图形编辑器
l
测量参数的等高线和三维图
