Innovative
˙
Powerful
˙
Affordable
设计创新 ˙ 功能强大 ˙ 经济实惠
Film Sense FS-1™
多波长椭偏仪采用寿命长LED光源和非移动式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。
大多数厚度0–1000 nm的透明薄膜只需要简单的1秒测量，就可以获得非常精密和准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。
FS-1这款功能强大的多波长椭偏仪，售价只是单一波长椭偏仪和光谱椭偏仪的中等水平。FS-1可应用于研究实验室，超净间，原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域
主要特点
l
4个
LED
光源：蓝色（
465nm
），绿色（
525nm
），黄色（
580nm
），红色（
635nm
）
l
椭偏仪探测器中无可移动部件
l
的膜厚精密性，大多数样品精密度优于0.001nm（
1
秒获取数据），对于亚单原子薄膜精密度等于
0.001nm
l 集成计算机，可实现对设备控制和数据分析，自带浏览器界面，可兼容任何现代计算机，笔记本或平板电脑
在线测量功能
自动Mapping系统
FS-1™多波长椭偏仪，带紧凑自动 mapping 样品台，可以实现快速，准确和可靠的薄膜均匀性测量。
软件控制
