1. 系统
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货号 |
型 号 |
主机 规格 |
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X1 轴测量范围 |
Z1 轴测量范围 |
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218-633DC |
CV-2100M4 |
100 mm |
50 mm |
1-1. 系统图
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・ 分析软件 ・ 电脑 ・ 打印机
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数据处理部 |
1-2. 数据处理部
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分析软件 |
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FORMTRACEPAK V5.4 （ CV ） |
2. 主机 规格
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测量范围 |
X1 轴 |
100 mm |
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Z1 轴 |
50 mm |
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垂直移动 |
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350 mm 快速上下动和微动 |
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X1 轴倾角范围 |
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± 45 ° 手 动 |
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类型 |
X1 轴 |
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反射型线性编码器 |
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Z1 轴 |
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圆弧光栅尺 |
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分辨 力 |
X1 轴 |
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0.1 μ m |
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Z1 轴 |
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0.1 μ m |
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驱动速度 |
X1 轴 |
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0 ～ 20 mm/s 外加手动 |
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测量速度 |
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0.02 ～ 5 mm/s |
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直线度 （以X1轴为水平方向上） |
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2.5 μ m/100 mm |
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指示精度 |
X1 轴 |
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±（2.5＋0.02L） μ m L 为驱动长度 （mm） |
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（ 20 ℃） |
Z1 轴 |
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±（ 2.5 ＋｜ 0.1H ｜）μ m H ： 基于水平位置的测量高度 （mm） |
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测针上／下运作 |
弧形移动 |
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测量方向 |
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向 前 / 向后 |
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测针方向 |
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向下 |
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测力 |
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30 ± 10 mN |
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跟踪角度 |
向上 |
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77 ° （ 依表面粗糙度而定 ） |
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向下 |
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87 ° （ 依表面粗糙度而定 ） * 使用配置的标准测头 |
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测针针尖 |
半径 |
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25 μ m |
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材料 |
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硬质合金 |
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基座尺寸 |
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600 × 450 mm |
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基座材料 |
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花岗岩 |
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尺寸 |
主机 |
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651 × 143 × 138.5 mm |
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立柱 部 |
885 × 745 × 450 mm |
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重量 |
主机 |
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5.8 kg |
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立柱 部 |
140 kg |
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使用温度 范围 |
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0 ～ 40 ℃ |
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使用湿度 范围 |
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20 ～80 %RT 但是不能结露 |
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保存温度 范围 |
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-10 ～ 50 ℃ |
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保存湿度 范围 |
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5 ～90 %RT 但是不能结露 |
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电 源 |
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AC 100 ～ 120V 、 200 ～ 240 V ± 10% 、 AC50/60 Hz |
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消耗功率 |
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3 0 W |
