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真空零部件THERMOCERA磁控管阴极MAG系列
真空零部件THERMOCERA磁控管阴极MAG系列
真空零部件，磁控管阴极MAG系列，LTE有机沉积源，真空引入端子，SiC3涂层碳零件
产品介绍
磁控管阴极MAG系列
磁控管阴极有高真空和出色的可维护性
采用夹紧环 轻松更换目标
Φ2英寸～Φ4英寸尺寸
磁性材料、烟囱口、注气、百叶窗等丰富的选择
RF、DC、脉冲 DC 组合高性能磁控管阴极，非常适合对现有设备进行添加、扩展和修改
主要规格
RF、DC、脉冲DC组合使用
水冷：4ℓ/min,0.35Mpa
目标厚度 1/16" 至 1/4"
外壳材质SUS304
目标夹具材料 Al, 或 SUS304
波纹管（柔性头型）SUS316
绝缘聚醚醚酮/聚四氟乙烯
密封材料 氟橡胶
高强度磁体包 NiFe；环氧树脂封装
LTE有机沉积源
有机薄膜材料蒸发源
低温（80 至 600°C）下具有优异可控性和响应性的蒸发源
稳定的沉积速率
材料填充和坩埚更换简便
主要规格
坩埚材质：石英（标准）、氧化铝
坩埚体积：1cc（LTE1）、5cc（LTE5）
外壳：SUS304
顶板： 氧化铝
温度传感器：K型热电偶
固定方式：M6固定支架（或CF、ISO法兰）
真空引入端子
SiC3涂层碳零件
SiC涂层材料具有长寿命、优异的附着力和均匀性
SiC（立方碳化硅）涂层碳零件，具有高纯度、高耐热性和导热性等优异的基本性能。
特征
交货快！（收到订单后至少 11 周）
膜厚均匀性 最小误差±5μm至最大误差±10μm
即使在精细形状上也能获得均匀的涂层：纵横比 5:1Φ3mm x 深度15mm 盲孔也可镀膜
优异的耐热性、耐腐蚀性、耐磨性
涂层厚度：最薄20μm～最厚120μm
用法
外延生长用晶圆
单晶拉制装置零件
MOCVD 基座
晶圆托盘
持有者
碳化硅涂层加热器
坩埚等
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