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微型气体质量流量控制器是专门为各类小流量气体的测量和控制而设计的。该系列 的传感器均采用先进的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，结合数字信号处 理技术和流量控制算法，实现对各类气体流量大小的精准控制和智能化处理。
应用领域：航空航天、半导 体加工、医疗生物、电子汽 车、钢铁冶金、船舶电子、 工业制气等行
业。
二，产品特点
采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片 ，旁路分流器和电磁比例阀设计而成，传感 器具有高精度，抗干扰性强特点 ，分流器的旁路流体成层流状态，从而使测量和控 制更加稳定和精准。电磁比例阀具有使用寿命长，灵敏度高等特点。
★ 传感器的零点稳定。
★ 量程范围内精度高，重复性好。
★ 响应时间快。
★ 标准机械接口，安装方便。
★ RS485通讯输出，标准MODBUS RTU协议。
★ 采用LCD显示瞬时流量和累计流量，清晰直观，读数方便，可通过按键输入控制流 量，在液晶屏上直接显示控制流量和实时流量值
★ 标配4-20mA 输入输出控制。
★ 可定制0-5V 或者0-10V 输入输出控制
三，技术参数
| 工作电源 | DC24V/6W |
| 精度(%) | 控制精度： ±1.0% SP，测量精度0-50L/min 1%fs 大于50L/min 1.5fs% |
| 控制和测量量 程比 | 1： 100 |
| 阀类型 | 常闭型 |
| 工作温度 | -10~55℃ |
| 湿度 | <95%RH(无结霜，无结冰) |
| 工作压力范 围 | 测量：0-1.5MPA 控制： 100SCCM-30SPLM 压力：0.1-1.0MPA 100SPLM 压力：0.1-0.65MPA 300SPLM 压力：0.1-0.5MPA |
| 典型的控制 响应时间 | 小于1S （T90） |
| 测量响应时 间 | <50mS |
| 输出方式 | 4-20mA 或者1-5V |
| 通讯方式 | RS485(Modbus Rtu协议) |
| 控制方式 | 按键操作,Modbus,4-20mA(1-5V)，可定制0-5V |
| 机械连接 | G1/4, PT1/2 内螺纹 |
| 防护等级 | IP40 |
备注：以上数据为在25℃ , 101.32kPa,干燥空气下测得 其他特性
| 可选择标况温 度条件 | 0°, 20°, 25°,用户可调，默认 25° |
| 可选择气体类 型 | Air, N2, O2, CH4, Ar, CO2, He, H2 ，C3H8 |
| 工作压差 | 50 SPLM 0.1MPA -0.7MPA 100SPLM 0.1MPA-0.6MPA 300SPLM 0.1MPA -0.4MPA |
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