LG-2MM激光测微仪为非接触式测量仪,它的量程为2mm,更换不同测头大测量范围可达10mm,静态分辨率可达7.6nm。
特性:
• 激光测量 • 量程0~2mm • 高精度 • 非接触测量 • 采样频率40kHz
Laser激光测微仪系列
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原理
激光三角法位移测量的原理是用一束激光以某一角度聚焦在被测物 体表面,然后从另一角度对物体表面上的激光光斑进行成像,物体表面 激光照射点的位置高度不同,所接受散射或反射光线的角度也不同,用 CCD光电探测器测出光斑像的位置,就可以计算出主光线的角度,从而 计算出物体表面激光照射点的位置高度。当物体沿激光线方向发生移动 时,测量结果就将发生改变,从而实现用激光测量物体的位移。
优势
精度高,不受被测物的材料、质地、形状、反射率的限制。从白色到 黑色,从金属到陶瓷、塑料都可以测量,并且非接触测量对被测物表面 无磨损。模块化结构分别由USB接口模块、供电模块、测头模块三部分 组成,测头模块可组拼级联进行多通道测量。
Laser激光测微仪系列
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技术参数
型号 |
LG-2MM |
单位 |
|
测量范围 |
0~2 |
mm |
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参考距离 |
25 |
mm |
|
光斑大小(直径) |
30 |
μm |
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线性 |
佳值 |
典型值 |
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0.01 |
0.02 |
±%F.S. |
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重复性(静态) |
20 |
40 |
nm |
重复性(动态) |
100 |
200 |
nm |
分辨率(静态) |
7.6 |
nm |
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分辨率(动态) |
20 |
nm |
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大采样频率 |
40 |
kHz |
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输出频率 |
大 4 |
kHz |
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取样周期 |
256/512 μs 1/2/4/8/16/32/64 ms |
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|
工作带宽 |
1300, 650, 325, 163, 81, 40, 20, 10, 5 |
Hz |
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激光功率 |
< 5 |
mW |
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激光等级 |
3R |
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激光波长 |
670 |
nm |
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可用模式 |
弥漫性或镜面性 |
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工作温度范围 |
0~40 |
° C |
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存储温度范围 |
-20~70 |
° C |
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湿度范围 |
10~95% 不结露 |
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温度系数 |
±0.05 |
% F.S./° C |
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激光测头外形尺寸 |
76.2×76.2×26.6(不包含连接器) |
mm |
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重量 |
203 |
g |
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计算机通信模块 |
USB2.0 接口模块 |
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供电模块 |
24VDC/0.13A |
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