E01.Cap 电容式测微仪是毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器。测微仪包括电感测微仪、电容测微仪、激光测微仪三种类型，主要用于高精度测量长度、厚度、深度、锥度等应用。
原理
它基于一个理想的平行板电容器原理，传感器与相对面被测目 标形成的两个电极，采用保护环电容器原理，用于测量任何金属 时，传感器仍是线性的。
E01.Cap 电容式测微仪技术参数
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型号 |
E09.Cap |
单位 |
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量程范围 |
0~200 |
μm |
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线性度 |
±0.1 |
μm |
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静态分辨率 |
2.5 |
nm |
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动态分辨率（1kHz） |
100 |
nm |
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传感器直径 |
10 |
mm |
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小目标直径 |
10 |
mm |
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静态重复性 |
5 |
nm |
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信号温度稳定性 |
＜ 0.005 |
%FSO/℃ |
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长期稳定性 |
＜ 0.04 |
%FSO/ 月 |
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带宽 |
2 |
kHz（-3dB） |
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工作温度范围 |
+10~+50 |
℃ |
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环境湿度 |
<85 |
% |
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电压输出范围 |
0~+10 |
V |
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供电电压 |
220VAC 50Hz±10% |
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传感器线长 |
1.6 |
m |
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板卡尺寸：长×高× 深 |
35×130×180 |
mm |
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机箱尺寸：长×高× 深 |
280×170×360 |
mm |
特性：
• 模块化设计、自由组拼
• 可提供单个板卡模块
• 高分辨率 • 模拟输出
• 非接触式测量
应用：
• Z向水准测量 • X, Y向定位
• 轴向振动测量
• 热膨胀测量 • 位移台传感器
