SIMS 工作站 (SIMS Workstation － a complete SIMS Analysis Facility) ，综合 UHV / SIMS 设备，进行高级的表面分析。可靠的、普遍适用的 SIMS 分析工作站。
· 整合的离子源，便于 RGA 和 SNMS
· 各类型样品的快速转向
· 阴、阳离子、中性粒子、自由基的质量、能量分析仪
·
整合的离子枪光栅控制和信号选通，进行深度分析
·
绝缘体研究中的电子流枪用于电荷中和
·
液氮冷井和真空室烘烤加热器
·
自动的
SIMS
离子光学透镜调谐和质量数列表，使
SIMS
性能
· Hiden EQS SIMS 分析仪，运行于 MASsoft O/S 之下，检测限至 ppb 级
·
基本的激发源选择：
带差式泵的
Hiden IG20 Ion
，
IFG200 FAB
或高性能液态镓枪
·
快速样品传递，样品固定，负载锁定的操纵器
·
4
轴：
X, Y, Z, θ UHV
操纵器，以定位样品
·
加上
ESM LabVIEW
和
SIMS
成像程序，进行
SIMS
元素成像
·
静态
SIMS
谱图库可用
Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)
SIMS Brochure TI 181 (670 KB)
SIMS Brochure TI 181 HiRes (5.64 MB)
Tour of the Hiden SIMS Workstation (6.22 MB)
Instruments for diagnostics and analysis of thin films
Analysis of Metal-Polymer Interfaces in Thin Film Capacitors by Dynamic Quadrupole SIMS (380 KB)
Analysis of MOCVD-Grown GaInP/Ga(ln)As/Ge Triple Junction Solar Cells by SIMS (182 KB)
Combined SIMS SNMS Poster (1.08 MB)
High Performance SIMS - Mass and Energy Analyser for SIMS - A2 (584 KB)
High Performance SIMS - Mass and Energy Analyser for SIMS - A3 (339 KB)
Simultaneous SIMS and Electron Impact SNMS (347 KB)
