EQS 是差式泵式二次离子质谱（ SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe ），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用的 SIMS 探针，便于连结到现有的 UHV 表面科学研究反应室。
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光栅控制，增强深度分析能力
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所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输
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灵敏度高
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稳定的脉冲离子计数检测器
· 质量数范围： 300amu ， 500amu ， 1000amu
· 检测器： 离子计数探测器、正负离子探测器、 107cps
· 质量过滤器： 3F 四级杆
· 杆直径： 9mm
· 加热： 250 ℃
· 离子源： 电子轰击，可用于 SNMS 和 RGA 的单根灯丝
MAXIM - Quadrupole SIMS Analyser (562 KB)
AP0088 - Metal-Carbon Composites and Multilayer Thin Films Prepared by Plasma Assisted Sequential Deposition (293 KB)
AP0128 - Magnesium Nitride Phase Formation Through New Ion Beam Implantation Technique (406 KB)
