GSL1100X-SPC16-3
等离子
3
靶溅射仪是一款经过
CE
认证的紧凑型等离子镀膜机。本机是依据二极
(DC)
直流溅射原理设计而成的,、可靠、经济的镀膜设备。它的特别之处是在一个真空室内设计安装了三个靶。旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料。适用于实验室的各种复合膜样品制备,及非导体材料实验电极制作。
技术参数
电源电压 |
220V , 50/60 Hz |
输出功率 |
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输出电压 (DC) |
1600V |
样品室 |
石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height |
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配件 |
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可通入气体 |
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标配靶材 :
可选靶材
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设备特点 |
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外形尺寸 |
400mm × 300mm × 400mm(L×W×H ) |
净重 |
50 kg |
质保期和质量认证 |
一年质保期,终身维护 |
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