VTC-16-3HD
是一款紧凑型
CE认证的等离子薄膜溅射仪,基片尺寸
2
英寸,加热温度为
500
度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材
和放置样品的直径是
50mm
.
旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种
材料,金靶,铝,铜
, 它
可以与真空泵,不锈钢波纹管
KFD25
快速卸装卡箍相连用
.
技术参数
输入功率 |
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输出功率 |
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样品室 |
石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height |
加热样品台
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控制面板
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可选
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进气口 |
一个针阀安装 在 进气口, 以实现更好的等离子涂层 |
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标配靶材分别有
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外形尺寸
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质保期 |
一年质保期,相关耗材除外,终身维护。 |
质量认证 |
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