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VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

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具体成交价以合同协议为准
  • 型号
  • 品牌
  • 所在地 天津市
  • 更新时间 2023-08-17
  • 厂商性质 其他
  • 所在地区 天津市
  • 实名认证 已认证
  • 产品数量 71
  • 人气值 449
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VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪,基片尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式
VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪 产品详情

VTC-16-3HD 是一款紧凑型 CE认证的等离子薄膜溅射仪,基片尺寸 2 英寸,加热温度为 500 度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材 和放置样品的直径是 50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种 材料,金靶,铝,铜 , 它 可以与真空泵,不锈钢波纹管 KFD25 快速卸装卡箍相连用 .

技术参数

输入功率

  • 110V / 220V 通用
  • <2000W ( 含真空泵 )

输出功率

  • 1600VDC
  • 电流 50mA

样品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

加热样品台

  • 一个外径50 mm 的样品台 , 可以移动三个位置
  • 基片可以放在样品台上 . 加热温度 500°C
  • PID 控温方式和触摸屏面板,控温精度 +/-1°C

控制面板

  • 控制面板为 PLC 6" 触摸屏
  • 一个控制面板可以控制所有的参数 , 包括真空度 , 电流 , 靶材位置 基片加热温度

可选

  • KF25 真空接口、卡箍,和 600mm长不锈钢波纹管
  • 120L/M旋片式真空泵(包含在仪器内)
  • Vapor trap eliminates the oil mist
  • 不锈钢波纹管与 KF-25真空接口相连接
  • 高纯度金箔靶
  • 需要一个带压力调节器的氩气瓶 (这个我们不提供)

进气口

一个针阀安装 进气口, 以实现更好的等离子涂层



靶材

标配靶材分别有

  • 金,银,铜 靶材:
  • 尺寸 : 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  • 可选靶材点击链接、
    Pt , Ag target , Zinc tarhet

外形尺寸

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 净重:50KG

质保期

一年质保期,相关耗材除外,终身维护。

质量认证

Certified

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